[实用新型]一种改善石墨舟高频的陶瓷杆有效
| 申请号： | 202221416743.3 | 申请日： | 2022-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN218299767U | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 王军昭;陈正飞;陆宁;石雷 | 申请（专利权）人： | 江苏顺风新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;C23C16/458 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 朱晓凯 |
| 地址： | 213123 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改善 石墨 高频 陶瓷 | ||
1.一种改善石墨舟高频的陶瓷杆，其特征在于，包括：
若干个第一石墨舟片(1)，若干个所述第一石墨舟片(1)的一侧设置有第二石墨舟片(6)，所述第一石墨舟片(1)与所述第二石墨舟片(6)的一侧均设置有若干个螺纹孔(7)，所述第一石墨舟片(1)和所述第二石墨舟片(6)上对应的两个所述螺纹孔(7)为一组，所述第一石墨舟片(1)的一侧设置有石墨螺母(2)，所述石墨螺母(2)与对应两个所述螺纹孔(7)的内部螺纹安装，所述第一石墨舟片(1)通过所述螺纹孔(7)和所述石墨螺母(2)与所述第二石墨舟片(6)固定安装在一起；
绝缘组件，所述绝缘组件设置在所述第一石墨舟片(1)的一侧，用于确保石墨舟拆装过程与舟叶无摩擦。
2.根据权利要求1所述的一种改善石墨舟高频的陶瓷杆，其特征在于，所述绝缘组件包括：
第一贯通孔(8)，所述第一贯通孔(8)开设在所述第一石墨舟片(1)的一侧，其中每三个所述第一贯通孔(8)为一组，每组所述第一贯通孔(8)固定安装有电极杆(3)，所述电极杆(3)的外圆壁面开设有若干个绝缘槽(9)。
3.根据权利要求2所述的一种改善石墨舟高频的陶瓷杆，其特征在于，所述第一石墨舟片(1)的一侧开设有第二贯通孔(10)，其中每三个所述第二贯通孔(10)为一组，每组所述第二贯通孔(10)固定安装有延伸杆(11)，所述延伸杆(11)的两端均固定安装有卡点(4)。
4.根据权利要求3所述的一种改善石墨舟高频的陶瓷杆，其特征在于，所述第一石墨舟片(1)的两端均设置有石墨舟脚(5)，所述石墨舟脚(5)的一侧开设有两个第一贯穿孔(12)。
5.根据权利要求4所述的一种改善石墨舟高频的陶瓷杆，其特征在于，所述第二石墨舟片(6)的两端均设置有分隔块(13)，所述分隔块(13)的一侧开设有两个第二贯穿孔(14)。
6.根据权利要求5所述的一种改善石墨舟高频的陶瓷杆，其特征在于，所述第一石墨舟片(1)的两端均固定安装有第一凸起(15)，所述第二石墨舟片(6)的两端均固定安装有第二凸起(16)，所述第一凸起(15)与所述第二凸起(16)的一侧开设有两个第三贯通孔(17)，所述第一凸起(15)通过所述第三贯通孔(17)、所述第一贯穿孔(12)和所述石墨螺母(2)与所述石墨舟脚(5)的一侧螺纹连接，所述第二凸起(16)通过所述第三贯通孔(17)、所述第二贯穿孔(14)和所述石墨螺母(2)与所述分隔块(13)的一侧螺纹连接，所述第一石墨舟片(1)与所述第二石墨舟片(6)的一侧均开设有若干个固定孔(18)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
