[实用新型]一种改善石墨舟高频的陶瓷杆

说明书

本实用新型公开了一种改善石墨舟高频的陶瓷杆，其技术方案要点是：包括若干个第一石墨舟片，若干个所述第一石墨舟片的一侧设置有第二石墨舟片，所述第一石墨舟片与所述第二石墨舟片的一侧均开设有若干个螺纹孔，所述第一石墨舟片和所述第二石墨舟片上对应的两个所述螺纹孔为一组，所述第一石墨舟片的一侧设置有石墨螺母，所述石墨螺母与对应两个所述螺纹孔的内部螺纹安装，所述第一石墨舟片通过所述螺纹孔和所述石墨螺母与所述第二石墨舟片固定安装在一起；绝缘组件，所述绝缘组件设置在所述第一石墨舟片的一侧，用于确保石墨舟拆装过程与舟叶无摩擦，通过设置石墨螺母，通过石墨螺母可以将第一石墨舟片与第二石墨舟片固定在一起。

技术领域

本实用新型涉及石墨舟技术领域，具体涉及一种改善石墨舟高频的陶瓷杆。

背景技术

石墨舟由一定数量的石墨舟片组成，每两片石墨舟片具有一定间隔，每一个石墨舟片两侧放置两片硅片。两片相邻石墨舟片通以交流电压，使得两个相邻石墨舟片形成正负极，当腔体内部有一定气压和特气时(通常为氨气、硅烷、笑气)，在两片石墨舟片之间就会发生辉光放电。石墨舟舟片间隔采用陶瓷环加陶瓷杆连接固定，相邻舟片之间应是绝缘状态，射频电源给相邻石墨舟舟片提供高频、高压电场，电离流经舟叶间的特气。

因为石墨舟拆装清洗、坏片维修等拆卸过程中，石墨舟与陶瓷杆有相互摩擦，陶瓷杆上会有部分石墨残留，因石墨的导电特性降低了陶瓷杆的绝缘性能，从而造成石墨舟舟片间的绝缘电阻下降；射频电源工作过程中电流异常，自保护停机，产品生产终止，影响设备稼动率及产品稳定性。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种改善石墨舟高频的陶瓷杆，解决了石墨舟与陶瓷杆有相互摩擦，陶瓷杆上会有部分石墨残留，因石墨的导电特性降低了陶瓷杆的绝缘性能，从而造成石墨舟舟片间的绝缘电阻下降的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种改善石墨舟高频的陶瓷杆，包括：若干个第一石墨舟片，若干个所述第一石墨舟片的一侧设置有第二石墨舟片，所述第一石墨舟片与所述第二石墨舟片的一侧均设置有若干个螺纹孔，所述第一石墨舟片和所述第二石墨舟片上对应的两个所述螺纹孔为一组，所述第一石墨舟片的一侧设置有石墨螺母，所述石墨螺母与对应两个所述螺纹孔的内部螺纹安装，所述第一石墨舟片通过所述螺纹孔和所述石墨螺母与所述第二石墨舟片固定安装在一起；绝缘组件，所述绝缘组件设置在所述第一石墨舟片的一侧，用于确保石墨舟拆装过程与舟叶无摩擦。

通过采用上述技术方案，通过设置石墨螺母，通过石墨螺母可以将第一石墨舟片与第二石墨舟片固定在一起，每个第一石墨舟片与第二石墨舟片为一组，整个石墨舟由若干组组成，之间通过石墨螺母进行固定。

较佳的，所述绝缘组件包括：第一贯通孔，所述第一贯通孔开设在所述第一石墨舟片的一侧，其中每三个所述第一贯通孔为一组，每组所述第一贯通孔固定安装有电极杆，所述电极杆的外圆壁面开设有若干个绝缘槽。

通过采用上述技术方案，通过设置绝缘槽，通过绝缘槽可以有效的避免在拆装过程中绝缘槽与舟叶之间摩擦，由于摩擦的减少可以减少石墨的残留，石墨的残留会降低绝缘性能，电阻会下降，为此通过绝缘槽可以有效的减少电阻率变化的问题。

较佳的，所述第一石墨舟片的一侧开设有第二贯通孔，其中每三个所述第二贯通孔为一组，每组所述第二贯通孔固定安装有延伸杆，所述延伸杆的两端均固定安装有卡点。

通过采用上述技术方案，通过设置卡点，通过卡点可以对于电池片进行固定，方便电池片对于电极杆进行通电，通过设置延伸杆，通过延伸杆可以对于卡点的位置进行固定，防止固定的位置产生偏移。

较佳的，所述第一石墨舟片的两端均设置有石墨舟脚，所述石墨舟脚的一侧开设有两个第一贯穿孔。