[实用新型]基于晶圆取送的电气控制箱

权利要求书

1.一种基于晶圆取送的电气控制箱，其特征在于，应用于实现晶圆取送功能的控制电路；所述基于晶圆取送的电气控制箱包括：内箱体和外箱体；

所述内箱体包括第一内箱体、第二内箱体、第三内箱体和第四内箱体；所述第一内箱体、所述第二内箱体、所述第三内箱体和所述第四内箱体以及所述外箱体封闭形成电气控制箱，所形成的封闭空间中容纳所述控制电路；

所述第一内箱体固定连接供电设备，所述第二内箱体固定连接驱动设备，所述第三内箱体固定连接第一过滤设备，所述第四内箱体固定连接第二过滤设备，所述外箱体固定连接电路保护设备。

2.根据权利要求1所述的基于晶圆取送的电气控制箱，其特征在于：

所述供电设备包括接地排、接线端子、继电器、接触器、PLC、开关电源和滤波器。

3.根据权利要求2所述的基于晶圆取送的电气控制箱，其特征在于，所述开关电源包括第一开关电源和第二开关电源；

所述第一内箱体设置为三层；第一层固定连接所述接地排、所述接线端子和所述继电器，第二层固定连接所述接触器、所述PLC和所述第一开关电源，第三层固定所述滤波器和所述第二开关电源。

4.根据权利要求1所述的基于晶圆取送的电气控制箱，其特征在于：

所述驱动设备包括：DD马达驱动器、步进电机驱动器和伺服驱动器。

5.根据权利要求1所述的基于晶圆取送的电气控制箱，其特征在于：

所述第一过滤设备和所述第二过滤设备均为过滤风扇，所述过滤风扇包括过滤器，所述过滤器用于在进风和出风时避免颗粒物进入箱体内。

6.根据权利要求1所述的基于晶圆取送的电气控制箱，其特征在于：

所述电路保护设备包括漏电流保护器、辅助触点和断路器。

7.根据权利要求1所述的基于晶圆取送的电气控制箱，其特征在于：

所述电气控制箱通过接插件连接上位机、电机、传感器和互锁IO。

8.根据权利要求1所述的基于晶圆取送的电气控制箱，其特征在于：

所述电气控制箱底部设有脚轮，所述脚轮用于移动所述电气控制箱。