[实用新型]基于晶圆取送的电气控制箱

说明书

本实用新型提供一种基于晶圆取送的电气控制箱，所述基于晶圆取送的电气控制箱包括：内箱体和外箱体；所述内箱体包括第一内箱体、第二内箱体、第三内箱体和第四内箱体；所述第一内箱体、所述第二内箱体、所述第三内箱体和所述第四内箱体以及所述外箱体封闭形成电气控制箱，所形成的封闭空间中容纳所述控制电路；所述第一内箱体固定连接供电设备，所述第二内箱体固定连接驱动设备，所述第三内箱体固定连接第一过滤设备，所述第四内箱体固定连接第二过滤设备，所述外箱体固定连接电路保护设备。本实用新型提供了一种晶圆取送功能控制电路所用的便于移动的全封闭电气控制箱。

技术领域

本实用新型属于电气控制的技术领域，涉及一种电气控制箱，特别是涉及一种基于晶圆取送的电气控制箱。

背景技术

在晶圆取送作业中，真空设备需要自动取送晶圆片功能，由此减少人员工作量，以及实现产业自动化。自动取送动作可以利用机械手来完成，机械手及运输设备需要控制单元，而现有的相关应用设备中，在真空设备领域中还未有自动化取送晶圆功能，即无相对应的运动控制电气箱。

因此，如何提供一种基于晶圆取送的电气控制箱，以解决现有技术没有针对自动取送晶圆的控制电路进行电气箱设计等缺陷，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种基于晶圆取送的电气控制箱，用于解决现有技术没有针对自动取送晶圆的控制电路进行电气箱设计的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型一方面提供一种基于晶圆取送的电气控制箱，应用于实现晶圆取送功能的控制电路；所述基于晶圆取送的电气控制箱包括：内箱体和外箱体；所述内箱体包括第一内箱体、第二内箱体、第三内箱体和第四内箱体；所述第一内箱体、所述第二内箱体、所述第三内箱体和所述第四内箱体以及所述外箱体封闭形成电气控制箱，所形成的封闭空间中容纳所述控制电路；所述第一内箱体固定连接供电设备，所述第二内箱体固定连接驱动设备，所述第三内箱体固定连接第一过滤设备，所述第四内箱体固定连接第二过滤设备，所述外箱体固定连接电路保护设备。

于本实用新型的一实施例中，所述供电设备包括接地排、接线端子、继电器、接触器、PLC、开关电源和滤波器。

于本实用新型的一实施例中，所述开关电源包括第一开关电源和第二开关电源；所述第一内箱体设置为三层；第一层固定连接所述接地排、所述接线端子和所述继电器，第二层固定连接所述接触器、所述PLC和所述第一开关电源，第三层固定所述滤波器和所述第二开关电源。

于本实用新型的一实施例中，所述驱动设备包括：DD马达驱动器、步进电机驱动器和伺服驱动器。

于本实用新型的一实施例中，所述第一过滤设备和所述第二过滤设备均为过滤风扇，所述过滤风扇包括过滤器，所述过滤器用于在进风和出风时避免颗粒物进入箱体内。

于本实用新型的一实施例中，所述电路保护设备包括漏电流保护器、辅助触点和断路器。

于本实用新型的一实施例中，所述电气控制箱通过接插件连接上位机、电机、传感器和互锁IO。

于本实用新型的一实施例中，所述电气控制箱底部设有脚轮，所述脚轮用于移动所述电气控制箱。

如上所述，本实用新型所述的基于晶圆取送的电气控制箱，具有以下有益效果：

本实用新型采用全封闭设计，与外界连接使用接插件形式；左右两侧风扇增加过滤器，左侧进风，右侧出风，保证无大颗粒进入箱体内；选用漏电流保护器为25A/0.03A，及时保护操作人员安全；滤波器可以保证进入箱体内交流电源稳定；独立开关电源提供24VDC，控制电源和供电电源相互分隔；可独立使用脉冲方式控制6轴；最多可使用Ethercat网络连接255轴；可承载25A以下交流负载，2KW以下直流负载；最大数字量输入点位48，输出点位32；电气箱底部有脚轮，方便移动。

附图说明