[实用新型]一种硅片搬运装置及硅片丝网印刷生产线

权利要求书

1.一种硅片搬运装置，其特征在于，包括：

转运机构(3)；

进片接驳传送机构(1)，用于向所述转运机构(3)传送硅片；

出片接驳传送机构(2)，用于传送所述转运机构(3)转运送出的硅片，且所述出片接驳传送机构(2)与所述进片接驳传送机构(1)的传送方向呈夹角设置；

所述转运机构(3)被配置为能升降且能在所述进片接驳传送机构(1)和所述出片接驳传送机构(2)之间往复运动，以顶升所述进片接驳传送机构(1)上的所述硅片的下表面并将所述硅片下放到所述出片接驳传送机构(2)上。

2.根据权利要求1所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述进片接驳传送机构(1)和所述出片接驳传送机构(2)均具有镂空结构，所述转运机构(3)能够升降穿过所述镂空结构以顶升或下放所述硅片。

3.根据权利要求2所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述进片接驳传送机构(1)和所述出片接驳传送机构(2)均包括至少一组传送带单元(11)，每组所述传送带单元(11)分别包括两根间隔且平行设置的传送带(111)，所述转运机构(3)能够升降在两根所述传送带(111)之间穿过以顶升或下放所述硅片。

4.根据权利要求1所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述转运机构(3)包括：

吸附单元(31)，用于吸附所述硅片；

旋转单元(32)，与所述吸附单元(31)连接，用于驱动所述吸附单元(31)在所述进片接驳传送机构(1)和所述出片接驳传送机构(2)之间往复运动；

升降单元(33)，用于驱动所述旋转单元(32)升降以吸附举升或下放所述硅片。

5.根据权利要求4所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述升降单元(33)包括：

升降驱动器(331)；

直线传动组件(332)，所述直线传动组件(332)的移动副与所述旋转单元(32)连接，所述升降驱动器(331)驱动所述移动副升降以带动所述旋转单元(32)升降。

6.根据权利要求5所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述转运机构(3)还包括导向单元(34)，所述导向单元(34)被配置为用于导向所述旋转单元(32)升降。

7.根据权利要求6所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述导向单元(34)包括：

滑轨(342)，与所述旋转单元(32)连接；

滑块(341)，与所述升降单元(33)连接，所述滑块(341)滑动设置于所述滑轨(342)上。

8.根据权利要求5所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述旋转单元(32)包括：

第一安装支座(314)，与所述直线传动组件(332)的移动副固定连接；

旋转驱动器(321)；

减速器(322)，与所述旋转驱动器(321)驱动连接，所述减速器(322)固定设置于所述第一安装支座(314)上；

旋转轴(323)，一端与所述吸附单元(31)连接，另一端转动设置于所述第一安装支座(314)上；

旋转传动组件(324)，传动连接所述减速器(322)和所述旋转轴(323)，所述减速器(322)通过所述旋转传动组件(324)驱动所述旋转轴(323)转动。

9.根据权利要求8所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述直线传动组件(332)包括丝杆和旋接于所述丝杆上的丝母，所述升降驱动器(331)与所述丝杆驱动连接，所述第一安装支座(314)与所述丝母连接；

所述旋转轴(323)与所述丝杆同轴设置，所述旋转轴(323)沿轴向设有供所述丝杆穿设的避让孔。