[实用新型]一种CVD设备中Loadlock传动机构

权利要求书

1.一种CVD设备中Loadlock传动机构，包括Loadlock腔体(1)，其特征在于，所述Loadlock腔体(1)的内部向下方延伸设置有Loadlock传动机构(2)；

所述Loadlock传动机构(2)包括主基座(3)，所述主基座(3)固定安装在Loadlock腔体(1)的底部，所述主基座(3)的下方连接有转动光杆(4)，所述转动光杆(4)的一侧设置有模组安装座(5)，所述模组安装座(5)安装在主基座(3)的下方，所述模组安装座(5)上安装有模组(6)，所述模组(6)的下方设置有滑块，所述滑块上安装有滑块连接块(8)，所述转动光杆(4)下端安装在轴承座(9)上，所述轴承座(9)安装在轴承座安装板(7)的上方，所述轴承座安装板(7)安装在滑块连接块(8)的上方，所述轴承座安装板(7)的底部安装有气缸安装座(15)，所述气缸安装座(15)的下方安装有气缸(23)。

2.根据权利要求1所述的一种CVD设备中Loadlock传动机构，其特征在于，所述主基座(3)的内部安装有直线轴承以及密封件，所述转动光杆(4)贯穿于直线轴承以及密封件，所述转动光杆(4)的底端延伸至轴承座安装板(7)的下方，所述转动光杆(4)的底端通过平键以及螺钉连接有气缸传动块(22)，所述气缸传动块(22)的下方通过圆柱销与气缸(23)相连接。

3.根据权利要求1所述的一种CVD设备中Loadlock传动机构，其特征在于，所述滑块连接块(8)的一侧设置有传感器安装块(16)，所述传感器安装块(16)上安装有传感器(17)，所述模组(6)的一侧贴装有直线栅尺(18)。

4.根据权利要求1所述的一种CVD设备中Loadlock传动机构，其特征在于，所述轴承座(9)的上方安装有轴承端盖(10)。

5.根据权利要求1所述的一种CVD设备中Loadlock传动机构，其特征在于，所述模组安装座(5)底端的一侧设置有电机(11)，所述电机(11)的下端连接有电机安装板(12)，所述电机安装板(12)的下方设置有电机固定板(13)，所述电机固定板(13)的下方设置有护罩(14)。

6.根据权利要求5所述的一种CVD设备中Loadlock传动机构，其特征在于，所述电机(11)的输出端连接有主动轮(21)，所述主动轮(21)的外部设置有同步带(19)，所述同步带(19)的另一侧连接有从动轮(20)。