[实用新型]一种CVD设备中Loadlock传动机构

说明书

本实用新型公开了一种CVD设备中Loadlock传动机构，涉及Loadlock传动以及控制技术领域，针对原有的丝杆和导杆传动机构在使用时，对于其采用伺服编码器的控制方式，系统传动刚度弱，存在累积误差的问题，现提出如下方案，其包括Loadlock腔体，所述Loadlock腔体的下方设置有Loadlock传动机构。该装置采用丝杆和直线导轨为一体的模组形式，整体的传动刚性更好，模块化的部件安装更方便，装配精度更易保证，相比于原有机构可靠性更高，后期的保养维护更方便；通过绝对值式的直线编码器与伺服电机组成闭环控制，可以准确检测到casstte中wafer的实际位置，控制精度更高。

技术领域

本实用新型涉及Loadlock传动以及控制技术领域，尤其涉及一种CVD设备中Loadlock传动机构。

背景技术

CVD设备是化学气相沉淀设备。CVD(化学气相沉积)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。

CVD设备中原有的丝杆和导杆传动机构采用伺服编码器的控制方式，系统传动刚度弱，属于半闭环控制，casstte中wafer的实际位置是在校准过程中通过mapping传感器检测计算所得，存在累积误差。

实用新型内容

本实用新型提出的一种CVD设备中Loadlock传动机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种CVD设备中Loadlock传动机构，包括Loadlock腔体，所述Loadlock腔体的内部向下方延伸设置有Loadlock传动机构；

所述Loadlock传动机构包括主基座，所述主基座固定安装在Loadlock腔体的底部，所述主基座的下方连接有转动光杆，所述转动光杆的一侧设置有模组安装座，所述模组安装座安装在主基座的下方，所述模组安装座上安装有模组，所述模组的下方设置有滑块，所述滑块上安装有滑块连接块，所述转动光杆下端安装在轴承座上，所述轴承座安装在轴承座安装板的上方，所述轴承座安装板安装在滑块连接块的上方，所述轴承座安装板的底部安装有气缸安装座，所述气缸安装座的下方安装有气缸。

优选的，所述主基座的内部安装有直线轴承以及密封件，所述转动光杆贯穿于直线轴承以及密封件，所述转动光杆的底端延伸至轴承座安装板的下方，所述转动光杆的底端通过平键以及螺钉连接有气缸传动块，所述气缸传动块的下方通过圆柱销与气缸相连接。

优选的，所述滑块连接块的一侧设置有传感器安装块，所述传感器安装块上安装有传感器，所述模组的一侧贴装有直线栅尺。

优选的，所述轴承座的上方安装有轴承端盖。

优选的，所述模组安装座底端的一侧设置有电机，所述电机的下端连接有电机安装板，所述电机安装板的下方设置有电机固定板，所述电机固定板的下方设置有护罩。

优选的，所述电机的输出端连接有主动轮，所述主动轮的外部设置有同步带，所述同步带的另一侧连接有从动轮。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型采用丝杆和直线导轨为一体的模组形式，整体的传动刚性更好，模块化的部件安装更方便，装配精度更易保证，相比于原有机构可靠性更高，后期的保养维护更方便；通过绝对值式的直线编码器与伺服电机组成闭环控制，可以准确检测到casstte中wafer的实际位置，控制精度更高。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型Loadlock传动机构的结构示意图。

图3为本实用新型Loadlock传动机构侧视的剖面结构示意图。