[实用新型]一种便于维护的真空高效加热装置有效

专利信息
申请号: 202221448106.4 申请日: 2022-06-11
公开(公告)号: CN217719514U 公开(公告)日: 2022-11-01
发明(设计)人: 黄营超;周炳 申请(专利权)人: 德兴市意发功率半导体有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 苏州启华专利代理事务所(普通合伙) 32357 代理人: 徐伟华
地址: 334200 江*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 便于 维护 真空 高效 加热 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种便于维护的真空高效加热装置,其包括:真空箱体、加热管、接线端子、第一密封圈、第二密封圈和托板,所述加热管竖向设置在真空箱体中,所述托板可升降地设置在加热管下方,所述接线端子包括第一定位套和定位柱,所述第一定位套设置在加热管顶部,所述真空箱体顶部设置有密封板,所述密封板上设置有与加热管一一对应的定位孔,所述定位柱同心设置在第一定位套顶部并延伸至定位孔中,所述第一密封圈设置在第一定位套顶面,所述第二密封圈设置在定位柱外圆上。本实用新型所述的便于维护的真空高效加热装置,通过第一密封圈和第二密封圈进行双重密封,并利用托板的上升进行加热管的定位,拆装便利。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域,尤其涉及一种便于维护的真空高效加热装置。

背景技术

在对单晶硅片进行真空镀膜时,需要一个高温环境。现有技术中,可以采用一排加热管进行真空箱体内部的加热,并通过密封圈进行加热管与真空箱体连接处的密封,避免漏气问题。

由于温度较高,密封圈的使用寿命缩短,需要经常进行密封圈的更换,材料和人工成本高,而且加热管的拆装不便,耗费的工时较长,影响了对单晶硅片正常的生产。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种便于维护的真空高效加热装置,提升密封效果和拆装便利性,降低成本。

为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:

一种便于维护的真空高效加热装置,包括:真空箱体、加热管、接线端子、第一密封圈、第二密封圈和托板,所述加热管竖向设置在真空箱体中,所述托板可升降地设置在加热管下方,所述接线端子包括第一定位套和定位柱,所述第一定位套设置在加热管顶部,所述真空箱体顶部设置有密封板,所述密封板上设置有与加热管一一对应的定位孔,所述定位柱同心设置在第一定位套顶部并延伸至定位孔中,所述第一密封圈设置在第一定位套顶面,所述第二密封圈设置在定位柱外圆上。

其中,所述加热管采用红外辐射加热管。

其中,所述托板沿真空箱体的长度方向水平延伸。

其中,所述真空箱体内壁上间隔设置有竖向延伸的导轨,所述导轨上设置有与托板相连接的滑块。

其中,所述真空箱体内壁设置有延伸至托板下方的耳板,所述耳板下方设置有向上延伸至托板底部的螺丝,所述耳板中设置有与螺丝对应的螺纹孔。

其中,所述托板上设置有与加热管底部一一对应的第二定位套。

其中,所述第一定位套与定位柱采用一体化陶瓷结构。

其中,所述第一定位套顶面内凹设置有与第一密封圈对应的第一环槽,所述定位柱外圆上设置有与第二密封圈对应的第二环槽。

本实用新型的有益效果:一种便于维护的真空高效加热装置,特别采用了第一定位套和定位柱组成的接线端子,通过第一密封圈和第二密封圈的配合,进行双重密封,提升密封效果,并利用托板的上升进行加热管的定位及第一密封圈的挤压,有利于通过挤压力的调整来确保密封效果,延长第一密封圈的使用寿命,而且拆装维护比较便利,可以快速恢复正常生产,提升生产效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图;

图2是图1的俯视图。

具体实施方式

下面结合图1至图2并通过具体实施例来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图1和图2所示的便于维护的真空高效加热装置,包括:真空箱体1、加热管2、接线端子、第一密封圈12、第二密封圈11和托板5,所述加热管2竖向设置在真空箱体1中,在本实施例中,所述加热管2采用红外辐射加热管,通电后,利用红外辐射的方式进行加热。

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