[实用新型]一种晶圆片架及晶圆包装

权利要求书

1.一种晶圆片架，其特征在于，包括片架主体(1)，所述片架主体(1)上设置有多个沿预设方向排布的容置槽(11)，每个所述容置槽(11)能限位一个晶圆，至少部分所述容置槽(11)的槽壁设置为标记颜色，以将多个所述容置槽(11)分隔为多个区段，所述片架主体(1)上设置有若干凸点组件(12)，每个所述凸点组件(12)与一个所述容置槽(11)对应设置。

2.根据权利要求1所述的晶圆片架，其特征在于，沿所述预设方向，所述片架主体(1)位于1/4、1/2、3/4位置处的所述容置槽(11)的槽壁设置为标记颜色。

3.根据权利要求2所述的晶圆片架，其特征在于，所述片架主体(1)位于1/4、1/2、3/4处分别连续设置两个槽壁为标记颜色的所述容置槽(11)。

4.根据权利要求1所述的晶圆片架，其特征在于，若干所述凸点组件(12)沿所述预设方向排布，相邻两个所述凸点组件(12)间隔一个所述容置槽(11)设置；

每个所述凸点组件(12)包括两个凸点(121)，同一个所述凸点组件(12)内的两个所述凸点(121)分别设置在所述容置槽(11)的两端。

5.根据权利要求1所述的晶圆片架，其特征在于，沿所述预设方向，所述容置槽(11)的上端宽度大于下端宽度，且所述容置槽(11)的下端宽度能限位一个晶圆。

6.根据权利要求1-5任一项所述的晶圆片架，其特征在于，所述晶圆片架包括支撑组件(2)，所述支撑组件(2)连接于所述片架主体(1)的下端，以使所述片架主体(1)的底部悬空；

所述支撑组件(2)包括第一支撑架(21)和第二支撑架(22)，所述第一支撑架(21)和所述第二支撑架(22)相对设置，所述片架主体(1)的底部部分位于所述第一支撑架(21)和所述第二支撑架(22)之间。

7.根据权利要求1-5任一项所述的晶圆片架，其特征在于，所述片架主体(1)包括：

第一侧壁(13)和第二侧壁(14)，所述第一侧壁(13)和所述第二侧壁(14)相对设置，所述第一侧壁(13)和所述第二侧壁(14)朝向彼此的一侧分别设置有多个沿所述预设方向排布的第一半槽(111)和第二半槽(112)，每个所述第一半槽(111)对应与一个所述第二半槽(112)形成所述容置槽(11)；

第一连接件(15)和第二连接件(16)，所述第一连接件(15)和所述第二连接件(16)相对设置，且均连接所述第一侧壁(13)和所述第二侧壁(14)。

8.根据权利要求7所述的晶圆片架，其特征在于，所述第一侧壁(13)和所述第二侧壁(14)在底部分别具有弧形部，以分别朝靠近彼此的方向延伸。

9.根据权利要求7所述的晶圆片架，其特征在于，所述第一侧壁(13)的上端向背离所述第二侧壁(14)的方向延伸有第一翻边(131)，所述第二侧壁(14)的上端向背离第一侧壁(13)的方向延伸有第二翻边(141)，所述凸点组件(12)设置在所述第一翻边(131)和所述第二翻边(141)上。

10.一种晶圆包装，其特征在于，所述晶圆包装包括晶圆片架和晶圆盒，所述晶圆片架能限位于所述晶圆盒内。