[实用新型]基板输送用压轮组件及基板输送设备

权利要求书

1.一种基板输送用压轮组件，其特征在于，包括至少一个压轮组，所述压轮组包括上下布置的第一压轮(2)和第二压轮(3)，所述第一压轮(2)和所述第二压轮(3)之间形成基板输送通道；所述第一压轮(2)和所述第二压轮(3)中的至少一个包括轮圈(201)以及设置在轮圈(201)外环上的弹性件(202)，弹性件(202)与轮圈(201)的外环之间形成用以储存工作流体的容纳腔。

2.根据权利要求1所述的基板输送用压轮组件，其特征在于，所述第一压轮(2)和第二压轮(3)均包括所述轮圈(201)和所述弹性件(202)。

3.根据权利要求2所述的基板输送用压轮组件，其特征在于，所述第一压轮(2)位于所述第二压轮(3)的上方，所述第一压轮(2)的弹性件(202)上设有与所述容纳腔连通的通孔(2021)。

4.根据权利要求3所述的基板输送用压轮组件，其特征在于，所述第一压轮(2)对应的容纳腔内填充有水、显影液或剥离液中的任意一种。

5.根据权利要求3所述的基板输送用压轮组件，其特征在于，所述第一压轮(2)对应的容纳腔内填充有压缩空气或惰性气体。

6.根据权利要求5所述的基板输送用压轮组件，其特征在于，所述惰性气体为氦气。

7.根据权利要求1至6中任意一项所述的基板输送用压轮组件，其特征在于，所述基板输送用压轮组件包括多个压轮组，多个所述压轮组沿基板输送通道的输送方向间隔排列。

8.根据权利要求7所述的基板输送用压轮组件，其特征在于，工作流体填充所述容纳腔后，所述弹性件(202)的外径为50-200mm。

9.一种基板输送设备，其特征在于，包括机体(5)以及如权利要求1至8中任一权利要求所述的基板输送用压轮组件，机体(5)上设有分别与所述压轮组的第一压轮(2)以及第二压轮(3)连接的第一驱动轴(21)和第二驱动轴(31)，所述第一驱动轴(21)和第二驱动轴(31)分别与驱动装置连接，用以在所述驱动装置的驱动下带动所述第一压轮(2)以及所述第二压轮(3)旋转。

10.根据权利要求9所述的基板输送设备，其特征在于，所述弹性件(202)用于与待输送基板接触的壁面上设有防滑结构。