[实用新型]基板输送用压轮组件及基板输送设备

说明书

本实用新型提供的一种基板输送用压轮组件及基板输送设备，包括至少一个压轮组，所述压轮组包括上下布置的第一压轮和第二压轮，所述第一压轮和所述第二压轮之间形成基板输送通道；所述第一压轮和所述第二压轮中的至少一个包括轮圈以及设置在轮圈外环上的弹性件，弹性件与轮圈的外环之间形成用以储存工作流体的容纳腔。当不同翘曲量和/或厚度的基板在基板输送通道中与第一压轮和第二压轮接触和脱离时，对应的容纳腔可压缩或膨胀，使得基板输送通道具有自适应调整通道高度的功能。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体而言，涉及一种基板输送设备。

背景技术

在半导体制造工艺过程中，经常需要用到用于输送半导体器件制造所需的基板的基板输送设备。现有常见的一种基板输送设备，利用上下两个压轮夹持基板并旋转，使得基板在压轮摩擦力的作用下水平运动。针对不同翘曲量及厚度的基板，需要手动调整压轮之间的间隙，从而调整压轮对基板的压力。在生产实践中，如果一批基板的翘曲程度及厚度不一样，需要不断手动调整上下两个压轮之间的间隙，耗时费力，严重影响生产效率。

实用新型内容

为了克服现有技术中的上述不足，本申请的目的在于提供一种基板输送用压轮组件，可以使得基板输送通道的高度能够根据基板的不同翘曲量及厚度自适应调整，无需手动调整压轮之间的间隙。

本实用新型的第一方面，提供了一种基板输送用压轮组件，包括至少一个压轮组，所述压轮组包括上下布置的第一压轮和第二压轮，所述第一压轮和所述第二压轮之间形成基板输送通道；所述第一压轮和所述第二压轮中的至少一个包括轮圈以及设置在轮圈外环上的弹性件，弹性件与轮圈的外环之间形成用以储存工作流体的容纳腔。

在一种可能的实施方式中，所述第一压轮和第二压轮均包括所述轮圈和所述弹性件。

在一种可能的实施方式中，所述第一压轮位于所述第二压轮的上方，所述第一压轮的弹性件上设有与所述容纳腔连通的通孔。

在一种可能的实施方式中，所述第一压轮对应的容纳腔内填充有水、显影液或剥离液中的任意一种。

在一种可能的实施方式中，所述第一压轮对应的容纳腔内填充有压缩空气或惰性气体。

在一种可能的实施方式中，所述惰性气体为氦气。

在一种可能的实施方式中，所述基板输送用压轮组件包括多个压轮组，多个所述压轮组沿基板输送通道的输送方向间隔排列。

在一种可能的实施方式中，工作流体填充所述容纳腔后，所述弹性件的外径为50-200mm。

本实用新型的第二方面，提供一种基板输送设备，包括机体以及第一方面至少一种可能的基板输送用压轮组件，机体上设有分别与所述压轮组的第一压轮以及第二压轮连接的第一驱动轴和第二驱动轴，所述第一驱动轴和第二驱动轴分别与驱动装置连接，用以在所述驱动装置的驱动下带动所述第一压轮以及第二压轮旋转。

在一种可能的实施方式中，所述弹性件用于与待输送基板接触的壁面上设有防滑结构。