[实用新型]一种全自动固晶机的固晶结构有效
申请号: | 202221506957.X | 申请日: | 2022-06-15 |
公开(公告)号: | CN218004785U | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 杨军;李婷 | 申请(专利权)人: | 深圳平晨半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;B08B5/04;B08B1/00 |
代理公司: | 深圳市燊汇智诚专利代理事务所(普通合伙) 44725 | 代理人: | 潘聪聪 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区坂*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 全自动 固晶机 结构 | ||
1.一种全自动固晶机的固晶结构,其特征在于,包括:
底座;
对接板,所述对接板可扣合在所述底座的顶部;
工作槽,所述工作槽开设在所述底座的顶部;
风机,所述风机固定安装在所述底座的底部;
水箱,所述水箱固定安装在所述底座的底部,所述风机的出风管延伸至所述水箱内;
吸尘管,所述吸尘管设置在所述底座上,所述吸尘管的进风端与所述工作槽相连通,所述吸尘管的出风端与所述风机的进风管相连通;
固定座,所述固定座固定安装在所述工作槽的底部内壁上,所述固定座内设有支架;
清扫机构,所述清扫机构设置在所述工作槽内;
升降机构,所述升降机构设置在所述底座和所述对接板上。
2.根据权利要求1所述的全自动固晶机的固晶结构,其特征在于,所述清扫机构包括凹槽、电机、传动螺杆、滑座和清灰棉,所述凹槽开设在所述工作槽的一侧内壁上,所述电机固定安装在所述凹槽内,所述传动螺杆固定安装在所述电机的输出轴上,所述传动螺杆与所述固定座错开设置,所述滑座螺纹套设在所述传动螺杆上,所述滑座的两侧分别与所述工作槽的两侧内壁滑动接触,所述清灰棉的底部固定安装有滑座,所述清灰棉的底部与所述支架的顶部位于同一平面。
3.根据权利要求1所述的全自动固晶机的固晶结构,其特征在于,所述对接板的下端安装有吸盘,所述吸盘的底部吸附有与所述支架对应设置的晶片。
4.根据权利要求1所述的全自动固晶机的固晶结构,其特征在于,所述升降机构包括气缸,所述气缸固定安装在所述底座上,所述气缸的输出杆上固定安装有连接杆,所述连接杆与所述对接板固定连接。
5.根据权利要求1所述的全自动固晶机的固晶结构,其特征在于,所述底座的顶部开设有限位槽,所述对接板的底部固定安装有与所述限位槽相对应的限位柱。
6.根据权利要求1所述的全自动固晶机的固晶结构,其特征在于,所述吸尘管至少为多组设置,分别连通所述工作槽的上方和下方,所述吸尘管上设有阀门,所述水箱的一侧设有补水管。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造