[实用新型]一种蒸发源结构及蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸发源结构，包括第一管件(1)、第二管件(2)和连接管(3)，所述连接管(3)的两端分别连通所述第一管件(1)和所述第二管件(2)，所述第一管件(1)、所述连接管(3)及所述第二管件(2)能够共同形成介质通道，所述第一管件(1)内设置有能够活动伸缩于所述介质通道的驱动机构，其特征在于，所述蒸发源结构还包括：

导向套(5)，所述导向套(5)的第一端插接于所述第二管件(2)内，所述导向套(5)的第二端插接于所述连接管(3)内；

第一密封件(4)，套设于所述导向套(5)上，沿所述第一密封件(4)的轴线方向，所述第一密封件(4)的两端分别抵接所述连接管(3)和所述第二管件(2)。

2.根据权利要求1所述的蒸发源结构，其特征在于，所述连接管(3)的内壁设置有安装槽，所述第一密封件(4)设置于所述安装槽内，且所述第一密封件(4)的外周面抵接于所述安装槽的内侧壁。

3.根据权利要求1所述的蒸发源结构，其特征在于，所述导向套(5)设置有环状的卡接槽(52)，所述第一密封件(4)套设于所述卡接槽(52)，且所述第一密封件(4)的内周面抵接于所述卡接槽(52)的底壁。

4.根据权利要求3所述的蒸发源结构，其特征在于，所述导向套(5)还设置有两个卡接部(51)，所述卡接槽(52)连接于所述两个卡接部(51)之间，两个所述卡接部(51)分别抵接于所述连接管(3)的内壁和所述第二管件(2)的内壁。

5.根据权利要求1所述的蒸发源结构，其特征在于，所述蒸发源结构还包括多个连接件，所述第二管件(2)对应多个所述连接件设置有第一连接孔(21)，所述连接管(3)对应多个所述第一连接孔(21)设置有第二连接孔，所述连接件穿过所述第一连接孔(21)并连接于所述连接管(3)的第二连接孔。

6.根据权利要求1所述的蒸发源结构，其特征在于，所述蒸发源结构还包括第二密封件(6)，所述第二密封件(6)位于所述第一管件(1)和所述连接管(3)之间，沿所述第二密封件(6)的轴线方向，所述第二密封件(6)的第一端与所述第一管件(1)相贴合，所述第二密封件(6)的第二端与所述连接管(3)相贴合。

7.根据权利要求6所述的蒸发源结构，其特征在于，所述第一管件(1)设置有凹槽，所述第二密封件(6)设置于所述凹槽内，且所述第二密封件(6)抵接于所述凹槽的内侧壁。

8.根据权利要求1所述的蒸发源结构，其特征在于，所述蒸发源结构还包括开关阀(7)，所述开关阀(7)设置于所述连接管(3)，所述开关阀(7)用于打开或关闭所述连接管(3)。

9.根据权利要求1所述的蒸发源结构，其特征在于，所述导向套(5)由弹性材料制成。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的蒸发源结构。