[实用新型]一种蒸发源结构及蒸镀设备

说明书

本实用新型属于真空设备技术领域，公开了一种蒸发源结构及蒸镀设备，该蒸发源结构包括第一管件、第二管件、连接管、导向套以及第一密封件，第一管件、连接管及第二管件能够共同形成介质通道，第二管件通过导向套和第一密封件与连接管进行密封连接，导向套的第一端插接于第二管件内，导向套的第二端插接于连接管内，第一密封件套设于导向套上，沿第一密封件的轴线方向，第一密封件的两端分别抵接连接管和第二管件，保证介质通道的密封性以及外部的真空环境，蒸发源由第一管件移动至第二管件的过程中不发生偏移，能够顺利通过导向套且不与第一密封件和介质通道的内壁发生碰撞而损坏，保证蒸发源有足够的刚度。

技术领域

本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种蒸发源结构及蒸镀设备。

背景技术

超高真空技术在高能粒子加速器、核聚变研究装置以及半导体应用等领域已经是不可或缺的技术，需要在真空环境下进行，加热蒸发器中待形成薄膜的源，使蒸发源从表面气化逸出，并入射到封闭的腔室内，凝固形成固态薄膜。

由于涉及到蒸发器内蒸发源的更换，蒸发器是通过线性驱动装置的驱动来实现，为了保证不破坏真空的环境，需要通过在线性驱动装置和腔室之间设置密封圈，在蒸发器移动至腔室的过程中会发生轨迹偏移而与密封圈发生碰撞，从而对蒸发器的结构产生磨损破坏，造成不可逆的损伤。

因此，亟需一种蒸发源结构及蒸镀设备，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蒸发源结构，密封性好，保证蒸发源在移动过程中不发生偏移，从而能够避免与第一密封件发生碰撞而造成结构损坏。

为了解决现有技术存在的上述问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种蒸发源结构，包括第一管件、第二管件和连接管，所述连接管的两端分别连通所述第一管件和所述第二管件，所述第一管件、所述连接管及所述第二管件能够共同形成介质通道，所述第一管件内设置有能够活动伸缩于所述介质通道的驱动机构，所述蒸发源结构还包括：

导向套，所述导向套的第一端插接于所述第二管件内，所述导向套的第二端插接于所述连接管内；

第一密封件，套设于所述导向套上，沿所述第一密封件的轴线方向，所述第一密封件的两端分别抵接所述连接管和所述第二管件。

优选地，所述连接管的内壁设置有安装槽，所述第一密封件设置于所述安装槽内，且所述第一密封件的外周面抵接于所述安装槽的内侧壁。

优选地，所述导向套设置有环状的卡接槽，所述第一密封件套设于所述卡接槽，且所述第一密封件的内周面抵接于所述卡接槽的底壁。

优选地，所述导向套还设置有两个卡接部，所述卡接槽连接于所述两个卡接部之间，两个所述卡接部分别抵接于所述连接管的内壁和所述第二管件的内壁。

优选地，所述蒸发源结构还包括多个连接件，所述第二管件对应多个所述连接件设置有第一连接孔，所述连接管对应多个所述第一连接孔设置有第二连接孔，所述连接件穿过所述第一连接孔并连接于所述连接管的第二连接孔。

优选地，所述蒸发源结构还包括第二密封件，所述第二密封件位于所述第一管件和所述连接管之间，沿所述第二密封件的轴线方向，所述第二密封件的第一端与所述第一管件相贴合，所述第二密封件的第二端与所述连接管相贴合。

优选地，所述第一管件设置有凹槽，所述第二密封件设置于所述凹槽内，且所述第二密封件抵接于所述凹槽的内侧壁。

优选地，所述蒸发源结构还包括开关阀，所述开关阀设置于所述连接管，所述开关阀用于打开或关闭所述连接管。

优选地，所述导向套由弹性材料制成。

为达上述目的，本实用新型还提供了一种蒸镀设备，包括上述的蒸发源结构。