[实用新型]测量辅助结构、晶棒检测装置和蓝宝石晶片生产系统

权利要求书

1.一种测量辅助结构，其特征在于，所述测量辅助结构用于晶棒晶向测量的位置固定，该测量辅助结构包括固定支架(1)、设置在所述固定支架(1)上的晶棒装载导轨(2)和半圆卡扣(3)，以及半圆柱填充块(4)，所述晶棒装载导轨(2)和所述半圆卡扣(3)围合形成用于装载晶棒和所述半圆柱填充块(4)的填充空间(5)，所述晶棒能够由所述半圆柱填充块(4)支撑为与所述晶棒装载导轨(2)和/或所述半圆卡扣(3)抵接固定；

所述晶棒装载导轨(2)包括第一端(201)和第二端(202)，所述第一端(201)用于置入/取出所述晶棒，所述第二端(202)靠近定向测量仪测量台设置，以允许所述晶棒紧贴所述定向测量仪测量台进行晶向测量。

2.根据权利要求1所述的测量辅助结构，其特征在于，所述半圆柱填充块(4)包括贴合晶棒装载导轨(2)的内表面设置的弧面和贴合所述晶棒设置的平面。

3.根据权利要求2所述的测量辅助结构，其特征在于，所述平面上设有用于固定所述晶棒的限位槽。

4.根据权利要求1所述的测量辅助结构，其特征在于，所述测量辅助结构包括设置在所述第一端(201)的刻度圆盘(6)。

5.根据权利要求1所述的测量辅助结构，其特征在于，所述测量辅助结构包括固定卡扣(7)，所述固定卡扣(7)设置在所述第二端(202)上，用于连接所述第二端(202)和所述定向测量仪测量台。

6.根据权利要求1所述的测量辅助结构，其特征在于，所述测量辅助结构包括弹簧压缩件(8)，该弹簧压缩件(8)套设在所述晶棒装载导轨(2)靠近所述第一端(201)的位置处，以推动所述晶棒与所述定向测量仪测量台抵接。

7.根据权利要求1所述的测量辅助结构，其特征在于，所述半圆卡扣(3)为多个，多个所述半圆卡扣(3)至少设置在所述第一端(201)和所述第二端(202)。

8.根据权利要求1所述的测量辅助结构，其特征在于，所述晶棒装载导轨(2)和半圆卡扣(3)围合形成规则的圆柱状的填充空间(5)。

9.一种晶棒检测装置，其特征在于，所述晶棒检测装置包括根据权利要求1至8中任一项所述的测量辅助结构。

10.一种蓝宝石晶片生产系统，其特征在于，所述蓝宝石晶片生产系统包括根据权利要求9所述的晶棒检测装置。