[实用新型]用于晶圆的半自动清洁毛刺设备

权利要求书

1.一种用于晶圆的半自动清洁毛刺设备，其特征在于：其包括：

机架，其具有上下连通设置的清洁毛刺区、集尘区；

手持吸笔，其设置于所述清洁毛刺区的一侧；

刮除装置，其设置于所述清洁毛刺区内，且包括定位平台、刮刀、调节单元、第一驱动单元，其中晶圆水平放置在所述定位平台上，所述刮刀具有能够抵触位于所述定位平台上的所述晶圆表面的刀口，所述调节单元用于驱动所述刀口沿着水平方向移动或/和绕着水平方向翻转运动；所述第一驱动单元驱动所述刮刀绕着所述定位平台的周向运动，或/和，所述第一驱动单元驱动所述定位平台绕着竖直方向转动；

暂存装置，其包括形成有上下贯通设置的晶圆暂存区的暂存单元、驱动所述定位平台上下穿过所述暂存区的第二驱动单元，其中所述刀口位于所述暂存区的上方或下方，且所述暂存区具有与所述晶圆相匹配的定位状态、在所述定位平台运动方向上避让所述晶圆的避让状态；

集尘装置，其设置于所述集尘区内，并用于收集所述清洁毛刺区内的灰尘。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆的半自动清洁毛刺设备，其特征在于：所述晶圆自待刮除面朝下地定位在所述定位平台上，所述刮刀设置在所述暂存区的下方，且所述定位平台自接取晶圆后自上而下运动并与所述刮刀相对接，所述刮刀的所述刀口抵触在所述晶圆的下表面。

3.根据权利要求1或2所述的用于晶圆的半自动清洁毛刺设备，其特征在于：所述刮刀包括刀座、设置在所述刀座上的刀片，其中所述刀片沿着所述晶圆的径向延伸，所述刀口形成在所述刀片的一侧，且所述刀片自所述刀口向相对另一侧方向斜向下倾斜设置；所述刀座包括座本体、自所述座本体向内水平延伸的延伸部，其中所述刀片固定连接在所述延伸部上，所述调节单元驱动所述座本体绕着水平方向转动，所述刀片同步翻转。

4.根据权利要求3所述的用于晶圆的半自动清洁毛刺设备，其特征在于：所述延伸部与所述座本体的转动中心线相错开设置，调节时，所述延伸部与所述刀片绕着所述座本体的转动中心线上下翻转运动。

5.根据权利要求3所述的用于晶圆的半自动清洁毛刺设备，其特征在于：所述调节单元包括第一调节部件和第二调节部件，其中所述第一调节部件包括第一调节座、滑动连接在所述第一调节座上的滑座、及设置在所述第一调节座上并用于调节所述滑座相对所述第一调节座滑动的第一调节手柄；所述第二调节部件包括固定设置在所述滑座上的第二调节座、设置在所述第二调节座上的第二调节手柄，其中所述座本体转动连接在所述第二调节座上，所述第二调节手柄用于调节所述座本体在所述第二调节座上的转动角度。

6.根据权利要求1所述的用于晶圆的半自动清洁毛刺设备，其特征在于：所述第一驱动单元与所述定位平台相连接，并驱动所述定位平台沿顺时针方向转动或/和沿逆时针方向转动；所述第一驱动单元包括设置在所述定位平台一侧的动力器、设置在所述动力器输出轴上的驱动齿轮、设置在所述定位平台上的从动齿轮、及连接在所述驱动齿轮与所述从动齿轮之间的环形传动带。

7.根据权利要求1所述的用于晶圆的半自动清洁毛刺设备，其特征在于：当所述暂存区处于定位状态或/和避让状态时，所述暂存区的口径自上而下逐渐变小设置；和/或，当所述暂存区处于定位状态或/和避让状态时，所述暂存区的中心线与所述定位平台的中心线相重合设置；和/或，所述暂存单元包括底座、活动设置在所述底座上并形成所述暂存区的多个暂存模块。