[实用新型]一种用于靶材工件切换的夹持装置

权利要求书

1.一种用于靶材工件切换的夹持装置，其特征在于，所述用于靶材工件切换的夹持装置包括底板，所述底板的表面均匀分布有至少两个扇形基座，所述的至少两个扇形基座中心对称设置，沿所述扇形基座的表面分别依次设置有至少两个弧形限位槽，所述的至少两个弧形限位槽与底板的中心之间的距离依次递增，所述的弧形限位槽内分别可拆卸设置有快换子爪，所述的快换子爪用于夹持靶材工件。

2.根据权利要求1所述的用于靶材工件切换的夹持装置，其特征在于，所述弧形限位槽的横截面为倒梯形结构。

3.根据权利要求1所述的用于靶材工件切换的夹持装置，其特征在于，所述快换子爪的底部设置有限位凸起，所述的限位凸起伸入所述的弧形限位槽内。

4.根据权利要求3所述的用于靶材工件切换的夹持装置，其特征在于，所述快换子爪远离限位凸起的一侧设置有定位凸台，所述的定位凸台用于对靶材工件进行定位。

5.根据权利要求4所述的用于靶材工件切换的夹持装置，其特征在于，所述定位凸台的横截面为矩形结构。

6.根据权利要求5所述的用于靶材工件切换的夹持装置，其特征在于，所述定位凸台靠近靶材工件的一侧表面为圆弧面。

7.根据权利要求3所述的用于靶材工件切换的夹持装置，其特征在于，所述弧形限位槽的底部表面开设有至少两个第一通孔，所述限位凸起与第一通孔螺栓连接。

8.根据权利要求1所述的用于靶材工件切换的夹持装置，其特征在于，所述扇形基座的表面开设有至少两个第二通孔，所述的第二通孔用于可拆卸连接所述的底板。

9.根据权利要求1所述的用于靶材工件切换的夹持装置，其特征在于，所述的底板为液压卡盘。

10.根据权利要求1所述的用于靶材工件切换的夹持装置，其特征在于，所述扇形基座的数量为三个，所述三个扇形基座拼接形成圆形结构，所述弧形限位槽的数量为三个。