[实用新型]一种用于靶材工件切换的夹持装置

说明书

本实用新型提供了一种用于靶材工件切换的夹持装置，所述用于靶材工件切换的夹持装置包括底板，所述底板的表面均匀分布有至少两个扇形基座，所述的至少两个扇形基座中心对称设置，沿所述扇形基座的表面分别依次设置有至少两个弧形限位槽，所述的至少两个弧形限位槽与底板的中心之间的距离依次递增，所述的弧形限位槽内分别可拆卸设置有快换子爪，所述的快换子爪用于夹持靶材工件。本实用新型通过扇形基座与快换子爪的配合使用，实现不同直径靶材工件的快速切换，加快了产品拆卸与安装速度。

技术领域

本实用新型属于机械生产技术领域，涉及靶材工件的切换，尤其涉及一种用于靶材工件切换的夹持装置。

背景技术

在镀膜过程中，需要对靶材工件进行更换。靶材要求精度较高，固定紧密，在进行拆卸时，通常采用人工操作更换，费时费力，若用力过度，容易导致靶材破裂或损坏，若是安装不到位，还会导致产品同心度变差，降低靶材质量。

CN206088739U公开了一种靶材安装治具，包括：用于固定靶材的靶材固定架单元，所述靶材固定架单元上具有吊装部；能够与所述靶材固定架单元可拆卸地连接的靶材承载单元；以及，与所述靶材承载单元连接，用于移动所述靶材承载单元，以移动靶材的移动单元。

CN105154837A公开了一种靶材更换装置包括，支架；安装于支架上的安装轴；套设于安装轴外侧、且可绕安装轴的轴心线旋转的靶材安装体，靶材安装体具有至少两个用于安装靶材的靶材安装面，当靶材安装体绕安装轴的轴心线旋转时，每一个靶材安装面可在工作状态朝向和闲置朝向之间切换；用于驱动靶材安装体绕安装轴的轴线旋转的第一驱动机构，在需更换靶材时，可通过第一驱动机构驱动靶材安装体旋转，进而将安装于靶材安装体的靶材安装面上的所需靶材由闲置朝向切换至工作状态朝向，进而使所需靶材参与工作。

CN214496460U公开了一种溅射源靶材独立更换机构，包括真空腔体和用于支撑所述真空腔体的支架，真空腔体内固定设置有一个内腔体，所述内腔体内部设置有一个用于镀膜的溅射源，所述溅射源可拆卸设置于内腔体内，内腔体的一端面与真空腔体端面相接，内腔体与真空腔体内壁相接的端面上设置有一个供溅射源穿过的通道，所述通道与外部相通，通道处设置有一块可拆卸的压板，所述压板与通道密封连接；内腔体的侧壁上设置有一个缺口，所述缺口处设置有一块转动的用于密封缺口的盖板。

现有用于靶材工件更换装置结构，无法实现不同尺寸靶材的切换，这无疑导致工装更换缓慢，且安装不到位，容易导致产品同心度变差。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于靶材工件切换的夹持装置，通过设置不同尺寸的限位结构，实现不同直径靶材工件的快速切换，可防止人为操作出现的安装不到位的问题，加快了产品拆卸与安装速度。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种用于靶材工件切换的夹持装置，所述用于靶材工件切换的夹持装置包括底板，所述底板的表面均匀分布有至少两个扇形基座，所述的至少两个扇形基座中心对称设置，沿所述扇形基座的表面分别依次设置有至少两个弧形限位槽，所述的至少两个弧形限位槽与底板的中心之间的距离依次递增，所述的弧形限位槽内分别可拆卸设置有快换子爪，所述的快换子爪用于夹持靶材工件。

本实用新型提供的一种用于靶材工件切换的夹持装置，根据靶材工件的尺寸，调节限位槽的位置，进而调整快换子爪，实现对不同直径靶材工件的切换，改善了工件的同心度误差，可防止人为操作出现的安装不到位的问题，加快了产品拆卸与安装速度。

需要说明的是，本实用新型中扇形基座表面的每一个弧形限位槽内分别设置有适用于特定尺寸靶材工件的快换子爪，且弧形限位槽与底板之间的距离递增，则弧形限位槽的长度相应地增加，以匹配不同尺寸规格的靶材工件。

作为本实用新型一个优选技术方案，所述弧形限位槽的横截面为倒梯形结构。