[实用新型]双腔原子层沉积进气结构

权利要求书

1.一种双腔原子层沉积进气结构，其特征在于：包括嵌套设置的外腔室(1)和内腔室(2)，

所述外腔室(1)底部设有加热器(3)、载物台(4)，

所述内腔室(2)位于载物台(4)上，内腔室(2)的两端分别设有抽气管(201)、前驱体扩散器(202)，所述前驱体扩散器(202)的端部安装有匀气组件(5)，匀气组件(5)包括若干个轴向叠加的匀气片(501)。

2.如权利要求1所述的双腔原子层沉积进气结构，其特征在于：所述前驱体扩散器(202)包括同轴设置的连接法兰(502)、顶部法兰(503)，匀气片(501)叠加设置在连接法兰(502)和顶部法兰(503)之间。

3.如权利要求2所述的双腔原子层沉积进气结构，其特征在于：所述匀气片(501)面向顶部法兰(503)的一侧还安装有法兰片(504)。

4.如权利要求3所述的双腔原子层沉积进气结构，其特征在于：所述法兰片(504)上安装有管接头(505)。

5.如权利要求4所述的双腔原子层沉积进气结构，其特征在于：顶部法兰(503)上的管接头(505)从顶部法兰(503)圆心处垂直引出，法兰片(504)上的管接头(505)垂直于前驱体扩散器(202)轴线引出，且相邻法兰片(504)上的管接头(505)交错设置。

6.如权利要求3所述的双腔原子层沉积进气结构，其特征在于：所有管接头(505)在前驱体扩散器(202)圆周环形阵列。

7.如权利要求2所述的双腔原子层沉积进气结构，其特征在于：匀气片(501)数量范围1-10片，每个匀气片(501)上设有气孔，气孔同轴设置或交错设置。

8.如权利要求1所述的双腔原子层沉积进气结构，其特征在于：所述内腔室(2)的前驱体扩散器(202)的设置为锥形，前驱体扩散器(202)安装于锥形的尖端位置。

9.如权利要求1所述的双腔原子层沉积进气结构，其特征在于：所述抽气管(201)与内腔室(2)相连的一端带有楔形口(203)，抽气管(201)背离内腔室(2)的一端贯穿外腔室(1)底壁伸出。

10.如权利要求1所述的双腔原子层沉积进气结构，其特征在于：所述外腔室(1)的加热温度范围上限为300摄氏度。