[实用新型]一种真空腔体的传动结构

权利要求书

1.一种真空腔体的传动结构,其特征在于：包括定位支撑机构、动力机构和定位机构，定位支撑机构包括齿条，齿条设置于载板装置，动力机构包括动力齿轮，齿条与动力齿轮啮合连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空腔体的传动结构，其特征在于：所述定位支撑机构还包括支架、支撑组件和支撑板，支架的长度方向与载板装置的移动方向平行，支架与真空腔体内部的顶部连接，支撑板与载板装置连接。

3.根据权利要求2所述的一种真空腔体的传动结构，其特征在于：所述支撑组件设有若干，沿载板装置移动方向的若干支撑组件设置于支架。

4.根据权利要求1所述的一种真空腔体的传动结构，其特征在于：所述动力机构设有若干，沿载板装置移动方向的若干动力机构设置于真空腔体。

5.根据权利要求2或3所述的一种真空腔体的传动结构，其特征在于：所述支撑组件包括轮安装架、支撑轮和定位轮，支撑轮和定位轮设置于轮安装架，支撑轮位于支撑板下方，支撑轮与支撑板贴合，定位轮位于齿条下方，定位轮与齿条进行卡槽连接。

6.根据权利要求1或4所述的一种真空腔体的传动结构，其特征在于：所述动力机构还包括电机组件、磁流体、联轴器、轴承座和动力转轴，轴承座与真空腔室连接，动力齿轮设置于动力转轴外表面，动力转轴通过联轴器与磁流体连接，磁流体与电机组件通过紧固机构连接。

7.根据权利要求6所述的一种真空腔体的传动结构，其特征在于：所述联轴器、动力齿轮、轴承座和动力转轴位于真空腔体内部，电机组件和磁流体位于真空腔体外部，磁流体的安装面与真空腔体的外表面连接。

8.根据权利要求1所述的一种真空腔体的传动结构，其特征在于：所述定位机构设置于真空腔室的底部，定位支撑机构与载板装置的上端连接，定位机构与载板装置的下端连接。

9.根据权利要求1或8所述的一种真空腔体的传动结构，其特征在于：所述定位机构包括定位支架和定位组件，定位支架的长度方向与载板装置的移动方向平行，定位支架与真空腔体内的底部连接。

10.根据权利要求9所述的一种真空腔体的传动结构，其特征在于：所述定位组件设有若干，若干定位组件沿载板装置的移动方向设置于定位支架，定位组件包括定位固定板和定位杆，定位杆设有滚轮，滚轮与载板装置的端面接触，载板装置的下端在其移动方向的两端尺寸逐渐减小。