[实用新型]一种真空腔体的传动结构

说明书

本实用新型公开了一种真空腔体的传动结构,包括定位支撑机构、动力机构和定位机构，定位支撑机构包括齿条，齿条固设在载板装置，动力机构包括动力齿轮，齿条与动力齿轮啮合连接，本实用新型通过动力齿轮与齿条的啮合连接将动力机构的动力传递至载板装置，不仅提高了传动效率，而且载板装置在腔体内的运行位置与理论值差异小，有利于设备整体的精细化管理，本实用新型中动力齿轮与齿条的啮合位置位于载板装置的顶部，针对量产机，载板装置的运行稳定性得到提升，有效降低硅片碎片的风险。

技术领域

本实用新型属于光伏设备领域，涉及一种真空腔体的传动结构。

背景技术

异质结太阳能电池制造工序的核心工艺包括薄膜沉积工艺，薄膜沉积工艺包括I型本征非晶硅薄膜、P型非晶硅薄膜、N型非晶硅薄膜等多道镀膜工艺。装载硅片的载板装置通过腔体的驱动机构的驱动在各道镀膜工艺之间流转完成硅片薄膜沉积的工序。

目前腔体的驱动机构存在以下问题：一是现有驱动机构多适用于小产量设备，并将驱动机构设置在载板装置的下方，量产机相较于小产量设备配置更大尺寸的载板装置，这种驱动方式会导致量产机载板装置的运行稳定性差，容易造成碎片；二是目前载板装置在腔体内主要靠外形定位，对加工件的精度要求高，并在驱动机构驱动载板装置运行过程中，运行的定位精度低；三是目前驱动机构主要是托辊结构和传送带传输结构，托辊结构依靠托辊上的橡胶与载板装置的摩擦力驱动载板装置，传送带传输结构依靠皮带与载板装置的摩擦力驱动载板装置，传动效率低；四是托辊结构通过摩擦力驱动载板装置，造成载板装置的运行速度与理论速度差异较大，载板装置速度调节的优化空间有限。

发明内容

本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种真空腔体的传动结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种真空腔体的传动结构,包括定位支撑机构、动力机构和定位机构，定位支撑机构包括齿条，齿条设置于载板装置，动力机构包括动力齿轮，齿条与动力齿轮啮合连接。

进一步的，所述定位支撑机构包括支架、支撑组件和支撑板，支架的长度方向与载板装置的移动方向平行，支架与真空腔体内部的顶部连接，支撑板与载板装置连接。

进一步的，所述支撑组件设有若干，沿载板装置移动方向的若干支撑组件设置于支架。

进一步的，所述动力机构设有若干，沿载板装置移动方向的若干动力机构设置于真空腔体。

进一步的，所述支撑组件包括轮安装架、支撑轮和定位轮，支撑轮和定位轮设置于轮安装架，支撑轮位于支撑板下方，支撑轮与支撑板贴合，定位轮位于齿条下方，定位轮与齿条进行卡槽连接。

进一步的，所述动力机构包括电机组件、磁流体、联轴器、轴承座和动力转轴，轴承座与真空腔室连接，动力齿轮设置于动力转轴外表面，动力转轴通过联轴器与磁流体连接，磁流体与电机组件通过紧固机构连接。

进一步的，所述联轴器、动力齿轮、轴承座和动力转轴位于真空腔体内部，电机组件和磁流体位于真空腔体外部，磁流体的安装面与真空腔体的外表面连接。

进一步的，所述定位机构设置于真空腔室的底部，定位支撑机构与载板装置的上端连接，定位机构与载板装置的下端连接。

进一步的，所述定位机构包括定位支架和定位组件，定位支架的长度方向与载板装置的移动方向平行，定位支架与真空腔体内的底部连接。

进一步的，所述定位组件设有若干，若干定位组件沿载板装置的移动方向设置于定位支架，定位组件包括定位固定板和定位杆，定位杆设有滚轮，滚轮与载板装置的端面接触，载板装置的下端在其移动方向的两端尺寸逐渐减小。

综上所述，本实用新型的有益之处在于：