[实用新型]末端执行器的真空发生装置

权利要求书

1.末端执行器的真空发生装置，其特征在于，包括：

箱体(1)、设置在箱体(1)内部的抽真空泵组(2)、设置在箱体(1)内部的破真空泵(3)、设置在箱体上的气管接头(4)和控制单元(5)，

所述抽真空泵组(2)由多个微型隔膜泵(6)串接而成，所述抽真空泵组(2)的进气口与所述气管接头(4)相连，所述气管接头(4)通过气体管道与末端执行器相连；

所述破真空泵(3)为微型隔膜泵(6)，所述破真空泵(3)的出气口与所述气管接头(4)相连，所述气管接头(4)通过气体管道与末端执行器相连；

所述抽真空泵组(2)和所述破真空泵(3)均与所述控制单元(5)电连接，所述控制单元(5)控制所述抽真空泵组(2)和所述破真空泵(3)的开启和关闭。

2.根据权利要求1所述的末端执行器的真空发生装置，其特征在于，所述抽真空泵组(2)由三个微型隔膜泵(6)串接而成。

3.根据权利要求1所述的末端执行器的真空发生装置，其特征在于，当所述气管接头(4)为一个时，所述破真空泵(3)的进气口、所述抽真空泵组(2)的出气口与所述气管接头(4)通过三通接头相连。

4.根据权利要求1所述的末端执行器的真空发生装置，其特征在于，当所述气管接头(4)为两个时，所述破真空泵(3)的进气口和所述抽真空泵组(2)的出气口分别连接一个所述气管接头(4)。

5.根据权利要求1所述的末端执行器的真空发生装置，其特征在于，所述微型隔膜泵(6)与箱体(1)的底板之间设置减震装置(7)。

6.根据权利要求5所述的末端执行器的真空发生装置，其特征在于，所述减震装置(7)包括底板(71)、安装板(72)和弹簧(73)，所述底板(71)固定连接在所述箱体(1)的底板上，所述底板(71)的两侧带有向上的底板弯折部(74)，所述微型隔膜泵(6)固定连接在所述安装板(72)上，所述安装板(72)的两侧带有向下的安装板弯折部(75)，所述安装板(72)和所述底板(71)之间水平设置若干弹簧(73)，所述弹簧(73)一端连接在所述底板弯折部(74)上，另一端连接在所述安装板弯折部(75)上。

7.根据权利要求1所述的末端执行器的真空发生装置，其特征在于，所述箱体(1)上设置有风扇(8)。

8.根据权利要求1所述的末端执行器的真空发生装置，其特征在于，所述箱体(1)上设置有若干通孔(9)。