[实用新型]一种兼容硅片输送装置及硅片检测装置

权利要求书

1.一种兼容硅片输送装置，其特征在于，所述兼容硅片输送装置包括支架，以及安装在所述支架上的驱动装置、至少一个固定输送机构、调节输送机构、与所述固定输送机构一一对应的补偿组件，其中：

所述驱动装置的驱动端与所述固定输送机构传动连接，以带动所述固定输送机构的固定输送带运转；

所述固定输送机构的固定输送带至少缠绕经过所述补偿组件，所述补偿组件与所述调节输送机构传动连接；

所述调节输送机构与所述固定输送机构并行设置；

所述固定输送机构和/或所述调节输送机构用于输送硅片；

所述调节输送机构被配置为可升降；

所述调节输送机构在升降时带动所述补偿组件同步升降，以带动所述固定输送带的补偿段进行升降，所述补偿段为所述固定输送带缠绕经过所述补偿组件的部分输送带。

2.根据权利要求1所述的兼容硅片输送装置，其特征在于，所述调节输送机构包括第一调节输送组件、第二调节输送组件、第一侧板、第二侧板和连接板，其中：

所述第一调节输送组件和所述第二调节输送组件分别设于所述固定输送机构两侧；

所述第一调节输送组件和所述第二调节输送组件分别通过所述第一侧板和所述第二侧板安装于所述连接板；

所述连接板通过滑块连接于所述支架的竖向导轨；

所述连接板用于带动所述第一调节输送组件和所述第二调节输送组件进行升降运动；

所述第一调节输送组件和所述第二调节输送组件分别通过一个所述补偿组件与所述固定输送机构传动连接。

3.根据权利要求2所述的兼容硅片输送装置，其特征在于，所述兼容硅片输送装置还包括锁紧组件，所述锁紧组件包括支撑部和锁紧部，所述第一调节输送组件和所述第二调节输送组件安装在所述支撑部上，所述锁紧部用于将所述支撑部固定在所述支架上。

4.根据权利要求2所述的兼容硅片输送装置，其特征在于，所述第一调节输送组件和所述第二调节输送组件采用相同结构，所述第一调节输送组件和所述第二调节输送组件均包括调节输送带、惰轮和传动轮；所述传动轮与所述补偿组件传动连接，所述调节输送带缠绕于所述惰轮和所述传动轮上，所述固定输送带通过所述补偿组件带动所述传动轮，使所述调节输送带转动。

5.根据权利要求4所述的兼容硅片输送装置，其特征在于，所述补偿组件包括第一调节轮、第二调节轮、第三调节轮和连接部；所述第一调节轮、所述第二调节轮和所述第三调节轮均安装于所述连接部；

所述第一调节轮和所述第三调节轮竖向间隔设置，所述第二调节轮位于所述第一调节轮和所述第三调节轮之间，且所述第二调节轮位于所述第一调节轮和所述第三调节轮的侧边；

所述固定输送带依次缠绕经过所述第一调节轮、所述第二调节轮和所述第三调节轮的部分为所述补偿段；

所述调节输送机构包括导向轮，所述导向轮设置在所述第一调节轮上方，以将缠绕经过所述导向轮的输送带导向至所述第一调节轮；

所述导向轮位于所述第一调节轮的正上方，或，所述导向轮位于所述第一调节轮的斜上方。

6.根据权利要求5所述的兼容硅片输送装置，其特征在于，所述第一调节轮和所述第三调节轮之间的间距小于所述第二调节轮的直径。

7.根据权利要求5所述的兼容硅片输送装置，其特征在于，所述兼容硅片输送装置还包括传动组件，所述传动组件用于连接所述传动轮和所述补偿组件；所述传动组件包括第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴，其中：

所述第一传动轴、所述第二传动轴和所述第三传动轴沿同一轴线依次设置，

所述第一传动轴的第一端固定设置有所述传动轮，所述第一调节输送组件的调节输送带缠绕经过所述传动轮；

所述第二传动轴的至少一端固定设置有所述第二调节轮，所述固定输送带缠绕经过所述第二调节轮；

所述第三传动轴的第一端固定设置有所述传动轮，所述第二调节输送组件的调节输送带缠绕经过所述传动轮；

所述传动轮的端部开设有卡槽，所述第一传动轴的第二端设有和所述卡槽相对应的第一卡接部，所述第三传动轴的第二端设有和所述卡槽相对应的第二卡接部。