[实用新型]一种兼容硅片输送装置及硅片检测装置有效

专利信息
申请号: 202221590608.0 申请日: 2022-06-24
公开(公告)号: CN217866289U 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 李泽通;李昶;徐飞;韩杰;薛冬冬;卞海峰;顾晓奕 申请(专利权)人: 无锡奥特维科技股份有限公司
主分类号: B65G15/12 分类号: B65G15/12;B65G23/04;B65G23/44
代理公司: 无锡永乐唯勤专利代理事务所(普通合伙) 32369 代理人: 孙际德
地址: 214000 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 兼容 硅片 输送 装置 检测
【说明书】:

实用新型公开了一种兼容硅片输送装置及硅片检测装置,兼容硅片输送装置包括支架,以及安装在支架上的驱动装置、至少一个固定输送机构、调节输送机构、与固定输送机构一一对应的补偿组件,驱动装置的驱动端与固定输送机构传动连接,以带动固定输送机构的固定输送带运转;固定输送机构的固定输送带至少缠绕经过补偿组件,补偿组件与调节输送机构传动连接;调节输送机构与固定输送机构并行设置;调节输送机构被配置为可升降;调节输送机构在升降时带动补偿组件同步升降,以带动固定输送带的补偿段进行升降,补偿段为固定输送带缠绕经过补偿组件的部分输送带。通过升降调节输送机构对检测设备提供让位,避免干扰检测光路。

技术领域

本实用新型属于电池制造技术领域,尤其涉及一种兼容硅片输送装置及硅片检测装置。

背景技术

随着硅片尺寸的不断变化,市场上的整片尺寸有166mm*166mm、182mm*182mm、210mm*210mm、230mm*230mm等不同尺寸,随着硅片尺寸的不断丰富多样化以及半片硅片、三分之硅片等多分片的出现,在对硅片进行侧边检测时,当前的硅片输送装置无法兼容这些不同尺寸的硅片。

实用新型内容

为了解决相关技术中的问题,本申请提供了一种兼容硅片输送装置可以有效提高对不同尺寸硅片的兼容性,技术方案如下:

一方面,本申请提出了一种兼容硅片输送装置,兼容硅片输送装置包括支架,以及安装在支架上的驱动装置、至少一个固定输送机构、调节输送机构、与固定输送机构一一对应的补偿组件,其中:驱动装置的驱动端与固定输送机构传动连接,以带动固定输送机构的固定输送带运转;固定输送机构的固定输送带至少缠绕经过补偿组件,补偿组件与调节输送机构传动连接;调节输送机构与固定输送机构并行设置;固定输送机构和/或调节输送机构用于输送硅片;调节输送机构被配置为可升降;调节输送机构在升降时带动补偿组件同步升降,以带动固定输送带的补偿段进行升降,补偿段为固定输送带缠绕经过补偿组件的部分输送带。

通过补偿组件使第一调节输送组件和第二调节输送组件升降移动时对固定输送机构进行输送带的长度变化补偿;通过升降调节输送机构改变固定输送机构和调节输送机构的相对高度,在对不同的硅片进行兼容时,避免干扰检测光路。

可选的,调节输送机构包括第一调节输送组件、第二调节输送组件、第一侧板、第二侧板和连接板,其中:第一调节输送组件和第二调节输送组件分别设于固定输送机构两侧;第一调节输送组件和第二调节输送组件分别通过第一侧板和第二侧板安装于连接板;连接板通过滑块连接于支架的竖向导轨;连接板用于带动第一调节输送组件和第二调节输送组件进行升降运动;第一调节输送组件和第二调节输送组件分别通过一个补偿组件与固定输送机构传动连接。

通过调节连接板在支架上的竖向距离,同时调整第一调节输送组件和第二调节输送组件相对固定输送机构的高度,能够保证第一调节输送组件和第二调节输送组件在支架上的竖向距离被调整同样的高度。

通过补偿组件实现固定输送机构与调节输送机构之间的传动连接,使得一个驱动装置能够驱动固定输送机构与调节输送机构

可选的,兼容硅片输送装置还包括锁紧组件,锁紧组件包括支撑部和锁紧部,第一调节输送组件和第二调节输送组件安装在支撑部上,锁紧部用于将支撑部固定在支架上。

设置锁紧组件可以将移动到设定高度的第一调节输送组件和第二调节输送组件进行固定。

可选的,第一调节输送组件和第二调节输送组件采用相同结构,第一调节输送组件和第二调节输送组件均包括调节输送带、惰轮和传动轮;传动轮与补偿组件传动连接,调节输送带缠绕于惰轮和传动轮上,固定输送带通过补偿组件带动传动轮,使调节输送带转动。

通过设置传动轮将动力由驱动装置经固定输送带、补偿组件传递至调节输送带,进而带动调节输送带的运转,传动方式简单紧凑。

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