[实用新型]一种芯片键合设备用高精度底座

权利要求书

1.一种芯片键合设备用高精度底座，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的正面设有凹槽（2），凹槽（2）的内腔安装有推动机构（3），底座（1）的顶部等距离开设有导向槽（7），导向槽（7）的两侧均安装有限位杆（6），限位杆（6）的底部与底座（1）的顶部固定连接，限位杆（6）的左侧固定连接有侧杆（5），侧杆（5）的底部与底座（1）的顶部固定连接；

推动机构（3）包括位于凹槽（2）内腔的滑板（301），滑板（301）的顶部安装有活动板（305），活动板（305）的顶部等距离固定连接有连接块（306），连接块（306）与导向槽（7）卡接，连接块（306）的顶部固定连接有顶板（303），顶板（303）的底部固定连接有推块（304）。

2.根据权利要求1所述的一种芯片键合设备用高精度底座，其特征在于：所述滑板（301）的左侧固定连接有气缸（3011），气缸（3011）的左端与凹槽（2）的内腔左侧固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种芯片键合设备用高精度底座，其特征在于：所述凹槽（2）的内腔两侧均固定连接有横杆（308），两个横杆（308）均与滑板（301）活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种芯片键合设备用高精度底座，其特征在于：所述滑板（301）的顶部两侧均活动安装有活动杆（302），两个活动杆（302）的顶端均与活动板（305）的底部固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种芯片键合设备用高精度底座，其特征在于：所述滑板（301）与活动板（305）之间连接有两个复位弹簧（3010），两个复位弹簧（3010）分别与两个活动杆（302）活动套接。

6.根据权利要求1所述的一种芯片键合设备用高精度底座，其特征在于：所述底座（1）的顶部固定连接有位于限位杆（6）右侧的弧形板（4），弧形板（4）与底座（1）之间固定连接有弧形块（9），弧形板（4）的内侧固定连接有弧形杆（8）。

7.根据权利要求1所述的一种芯片键合设备用高精度底座，其特征在于：所述活动板（305）的正面固定连接有L型块（307），L型块（307）与滑板（301）之间安装有螺栓（309）。