[实用新型]一种多通道芯片检选机

权利要求书

1.一种多通道芯片检选机，其特征在于，它包括基台（1）、晶圆组件（2）、定位分拣组件（3）和多通道料盘轨道组件（4），所述晶圆组件（2）包括晶圆提篮（21）、晶圆移载组件（22）和晶圆治具（23），所述晶圆提篮（21）、所述晶圆移载组件（22）和所述晶圆治具（23）均设置在所述基台（1）上，所述定位分拣组件（3）包括多轴组件（31）、芯片分类定位组件（32）、芯片夹爪（33）和料盘定位组件（34），所述多轴组件（31）包括多轴机架（311）、Z轴组件（312）、第一YZ轴组件（313）和第二YZ轴组件（314），所述多轴机架（311）设置在所述基台（1）上，所述Z轴组件（312）、第一YZ轴组件（313）和第二YZ轴组件（314）均设置所述多轴机架（311）上，所述芯片分类定位组件（32）设置在所述Z轴组件（312）的活动端，所述芯片夹爪（33）设置在所述第一YZ轴组件（313）的活动端，所述料盘定位组件（34）设置在所述第二YZ轴组件（314）的活动端，所述多通道料盘轨道组件（4）包括第一支撑架（41）、副支撑架（42）、进出料组件（43）、缓存组件（44）和四工位料盘组件（45），所述第一支撑架（41）和所述副支撑架（42）均设置在所述基台（1）上，所述进出料组件（43）设置在所述副支撑架（42）上，所述缓存组件（44）和所述四工位料盘组件（45）均设置在所述第一支撑架上，所述缓存组件（44）分别与所述进出料组件（43）和所述四工位料盘组件（45）相配合，所述芯片夹爪（33）与所述四工位料盘组件（45）相配合。

2.根据权利要求1所述的一种多通道芯片检选机，其特征在于，所述晶圆移载组件（22）包括支撑座（221）、X轴直线组件（222）以及夹爪组件（223），所述X轴直线组件（222）设置在所述支撑座（221）上，所述夹爪组件（223）设置在所述X轴直线组件（222）的活动端，所述夹爪组件（223）位于所述晶圆治具（23）的上方。

3.根据权利要求1所述的一种多通道芯片检选机，其特征在于，所述进出料组件（43）包括送料组件（431）和出料组件（432），所述送料组件（431）包括推料组件（4311）、两个送料仓（4312）和两个送料台（4313），所述出料组件（432）包括出料顶升座（4321）和四个出料仓（4322），所述推料组件（4311）、所述出料顶升座（4321）、两个所述送料仓（4312）、两个所述送料台（4313）和四个所述出料仓（4322）均设置在所述副支撑架（42）上，所述送料台（4313）与所述送料仓（4312）相配合，所述推料组件（4311）与两个所述送料台（4313）相配合，所述出料顶升座（4321）与四个所述出料仓（4322）相配合，所述缓存组件（44）包括出料缓存组件（441）和两个送料缓存组件（442），所述第一支撑架（41）设置有第一滑轨（43111）和第二滑轨（43112），所述出料缓存组件（441）和两个所述送料缓存组件（442）均滑动设置在所述第一滑轨（43111）上，所述送料缓存组件（442）与所述送料台（4313）相配合，所述出料缓存组件（441）与所述出料顶升座（4321）相配合，所述四工位料盘组件（45）滑动设置在所述第二滑轨（43112）上，所述四工位料盘组件（45）分别与所述送料缓存组件（442）和所述出料缓存组件（441）相配合。

4.根据权利要求3所述的一种多通道芯片检选机，其特征在于，所述四工位料盘组件（45）包括料盘底座（451）和四组料盘组件，所述料盘底座（451）设置在所述第二滑轨（43112）的活动端，所述料盘组件设置在所述料盘底座（451）上，所述料盘组件包括料盘槽（452）和四个料盘气缸（453），所述料盘气缸（453）分别配合设置在所述料盘槽（452）一侧，所述料盘槽（452）分别与所述送料缓存组件（442）和所述出料缓存组件（441）相配合。