[实用新型]一种电弧法制备氮化镓的装置

权利要求书

1.一种电弧法制备氮化镓的装置，包括反应室(1)，其特征在于，所述反应室(1)的两端端面开设有滑动孔和固定孔，所述滑动孔内滑动连接有可移动式反应电极(8)，所述可移动式反应电极(8)的一端固定连接有固定板(11)，所述固定板(11)的一侧面固定连接有驱动螺杆(9)，所述驱动螺杆(9)的一端螺纹连接有双向螺纹筒(10)，所述反应室(1)的一端安装有氮气储罐(3)，所述氮气储罐(3)的一端固定连接有出气管，所述出气管的一端与固定孔固定连接，所述反应室(1)的一端安装有真空泵(7)，所述真空泵(7)的一端固定连接有抽气管，所述抽气管的一端与固定孔固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种电弧法制备氮化镓的装置，其特征在于：所述反应室(1)的底端固定连接有防护箱(13)，所述防护箱(13)的内部安装有电源(16)，所述反应室(1)的底端安装有开关(15)，所述电源(16)、开关(15)和可移动式反应电极(8)通过导线串联成回路。

3.根据权利要求1所述的一种电弧法制备氮化镓的装置，其特征在于：两侧所述驱动螺杆(9)上设置有走向相反的外螺纹，所述双向螺纹筒(10)的内壁上设置有驱动螺杆(9)相匹配的内螺纹。

4.根据权利要求1所述的一种电弧法制备氮化镓的装置，其特征在于：所述反应室(1)的顶端安装有压力表(2)，所述反应室(1)的底端固定连接有支撑腿(4)。

5.根据权利要求1所述的一种电弧法制备氮化镓的装置，其特征在于：所述反应室(1)的一侧面安装有压力泵(5)和储液箱(6)，所述储液箱(6)的内部填充有碱性溶液，所述压力泵(5)的一端通过吸水管与储液箱(6)固定连接，所述压力泵(5)的一端通过喷淋管与反应室(1)固定连接，所述喷淋管延伸至反应室(1)内部的一端固定连接有喷淋头(17)。

6.根据权利要求1所述的一种电弧法制备氮化镓的装置，其特征在于：所述反应室(1)的一侧面开设有操作口，所述操作口的内壁铰接有铰接门(14)，所述铰接门(14)上设置有观察窗(12)。