[实用新型]一种电弧法制备氮化镓的装置

说明书

本实用新型公开了一种电弧法制备氮化镓的装置，属于氮化镓制备技术领域，包括反应室，反应室的两端端面开设有滑动孔和固定孔，滑动孔内滑动连接有可移动式反应电极，可移动式反应电极的一端固定连接有固定板，固定板的一侧面固定连接有驱动螺杆，驱动螺杆的一端螺纹连接有双向螺纹筒，反应室的一端安装有氮气储罐，氮气储罐的一端固定连接有出气管，出气管的一端与固定孔固定连接，反应室的一端安装有真空泵。本实用新型通过设置有真空泵可以对反应室进行抽真空，然后打开氮气储罐，向反应室内输送氮气，在压力表的作用下，方便控制反应室内的气压值，保证反应室内氮气含量的纯度。

技术领域

本实用新型涉及氮化镓制备技术领域，尤其涉及一种电弧法制备氮化镓的装置。

背景技术

氮化镓是二十世纪九十年代以来常用于发光二极管的二元直接带隙半导体，该化合物是一种非常坚硬的材料，具有纤锌矿晶体结构。

现有氮化镓在制备过程中，往往反应室内氮气含量不够纯，导致反应产生的附加物较多，使得氮化镓的纯度不够高，从而降低了氮化镓的制备质量和效率，因此提出一种电弧法制备氮化镓的装置解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中反应室内的氮气含量不纯的问题，而提出的一种电弧法制备氮化镓的装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种电弧法制备氮化镓的装置，包括反应室，所述反应室的两端端面开设有滑动孔和固定孔，所述滑动孔内滑动连接有可移动式反应电极，所述可移动式反应电极的一端固定连接有固定板，所述固定板的一侧面固定连接有驱动螺杆，所述驱动螺杆的一端螺纹连接有双向螺纹筒，所述反应室的一端安装有氮气储罐，所述氮气储罐的一端固定连接有出气管，所述出气管的一端与固定孔固定连接，所述反应室的一端安装有真空泵，所述真空泵的一端固定连接有抽气管，所述抽气管的一端与固定孔固定连接。

优选的，所述反应室的底端固定连接有防护箱，所述防护箱的内部安装有电源，所述反应室的底端安装有开关，所述电源、开关和可移动式反应电极通过导线串联成回路。

优选的，两侧所述驱动螺杆上设置有走向相反的外螺纹，所述双向螺纹筒的内壁上设置有驱动螺杆相匹配的内螺纹。

优选的，所述反应室的顶端安装有压力表，所述反应室的底端固定连接有支撑腿。

优选的，所述反应室的一侧面安装有压力泵和储液箱，所述储液箱的内部填充有碱性溶液，所述压力泵的一端通过吸水管与储液箱固定连接，所述压力泵的一端通过喷淋管与反应室固定连接，所述喷淋管延伸至反应室内部的一端固定连接有喷淋头。

优选的，所述反应室的一侧面开设有操作口，所述操作口的内壁铰接有铰接门，所述铰接门上设置有观察窗。

相比现有技术，本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型通过设置有真空泵可以对反应室进行抽真空，然后打开氮气储罐，向反应室内输送氮气，在压力表的作用下，方便控制反应室内的气压值，保证反应室内氮气含量的纯度。

2、本实用新型通过设置有可移动式反应电极和电源，可以利用可移动式反应电极产生放电反应，为氮化镓的制备提供反应条件。

3、本实用新型通过设置有储液箱和压力泵，可以将碱性溶液导入反应室内，用于洗去铝锌或镁的氮化产物。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种电弧法制备氮化镓的装置的立体结构示意图一；

图2为本实用新型提出的一种电弧法制备氮化镓的装置的立体结构示意图二；

图3为本实用新型提出的一种电弧法制备氮化镓的装置的内部结构示意图；