[实用新型]一种晶圆级产品贴膜治具

权利要求书

1.一种晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，包括底座(1)、载板(2)和定位框(4)，所述载板(2)放置于底座(1)上，所述载板(2)上贴附有膜(3)，所述定位框(4)安装于底座(1)上，所述定位框(4)设有镂空部(41)、以暴露出用于贴合晶圆级产品(5)的膜(3)，所述定位框(4)的镂空部(41)边缘覆盖住膜(3)的边缘和载板(2)的边缘。

2.根据权利要求1所述的晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，所述底座(1)设有方向标识(11)，所述定位框(4)设有凹口指示杆(42)，所述凹口指示杆(42)位于方向标识(11)所在侧，所述晶圆级产品(5)设有凹口(51)，所述晶圆级产品(5)贴合于膜(3)时、所述凹口(51)对准凹口指示杆(42)。

3.根据权利要求2所述的晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，所述底座(1)设有定位销(12)，所述定位框(4)设有与定位销(12)相配合的定位销孔(43)，所述底座(1)设有定位针(13)，所述载板(2)设有与定位针(13)相配合的定位针孔一(21)。

4.根据权利要求3所述的晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，所述定位框(4)设有与定位针(13)相配合的定位针孔二(46)。

5.根据权利要求1所述的晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，所述定位框(4)设有多处镂空区(44)，所述镂空区(44)分布于镂空部(41)的外围。

6.根据权利要求5所述的晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，所述定位框(4)设有一对把手(45)，所述把手(45)对称设于镂空部(41)的两侧。

7.根据权利要求1所述的晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，所述底座(1)设有朝向底座(1)中间凹陷的凹陷部(14)，所述凹陷部(14)至少设有两处、且相对于底座(1)中心呈对称设置。

8.根据权利要求1所述的晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，所述载板(2)为钢板。

9.根据权利要求1所述的晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，所述膜(3)为热剥离膜，所述膜(3)的外径大于晶圆级产品(5)的外径至少0.5㎜，所述膜(3)的厚度不小于晶圆级产品(5)的厚度的一半。