[实用新型]一种用于外延炉的监测装置有效

专利信息
申请号: 202221644363.5 申请日: 2022-06-28
公开(公告)号: CN218064109U 公开(公告)日: 2022-12-16
发明(设计)人: 黄小华 申请(专利权)人: 四川雅吉芯电子科技有限公司
主分类号: F16M11/04 分类号: F16M11/04;F16M11/18;F16M13/02;H01L21/66
代理公司: 成都乐易联创专利代理有限公司 51269 代理人: 陈仁平
地址: 625000 四川省雅安市*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 外延 监测 装置
【权利要求书】:

1.一种用于外延炉的监测装置,其特征在于,包括:炉体(1);

把手(2),所述把手(2)的底部固定连接于炉体(1)的顶部;

调节组件(3),所述调节组件(3)的底部设置于炉体(1)的顶部,所述调节组件(3)包括安装架(31),所述安装架(31)的底部设置于炉体(1)的顶部,所述安装架(31)的顶部转动连接有转动盘(32),所述转动盘(32)的底部贯穿安装架(31)的顶部且延伸至安装架(31)的内部,所述转动盘(32)的底部固定连接有螺纹杆(33),所述螺纹杆(33)的底端与安装架(31)内壁的底部转动连接,所述螺纹杆(33)的周侧面螺纹连接有螺块(34);

安装组件(4),所述安装组件(4)的左侧固定连接于调节组件(3)的右侧。

2.根据权利要求1所述的用于外延炉的监测装置,其特征在于,所述螺块(34)的正面和背面均固定连接有凸块(35),所述凸块(35)的周侧面与安装架(31)的内侧滑动连接,所述安装架(31)的内侧开设有滑动槽(36)。

3.根据权利要求1所述的用于外延炉的监测装置,其特征在于,所述安装组件(4)包括横板(41),所述横板(41)的左侧固定连接于安装架(31)的右侧,所述横板(41)的内壁滑动连接有两个滑动块(42),两个所述滑动块(42)的正面和背面均固定连接有凸板(43)。

4.根据权利要求3所述的用于外延炉的监测装置,其特征在于,四个所述凸板(43)的周侧面与横板(41)的内侧滑动连接,两个所述滑动块(42)相离的一侧均固定连接有弹簧(44),两个所述弹簧(44)相离的一侧与横板(41)的内侧固定连接。

5.根据权利要求4所述的用于外延炉的监测装置,其特征在于,两个所述滑动块(42)的底部均固定连接有夹持板(45),两个所述夹持板(45)相离的一侧均固定连接有拉环(46),所述横板(41)的内侧开设有滑槽(47)。

6.根据权利要求1所述的用于外延炉的监测装置,其特征在于,所述螺块(34)的左侧固定连接有安装板(5),所述安装板(5)的内侧固定连接有金属温度计(6),所述安装板(5)顶部的左侧固定连接有监测装置(7)。

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