[实用新型]一种用于外延炉的监测装置

说明书

本实用新型提供一种用于外延炉的监测装置包括：炉体；把手，所述把手的底部固定连接于炉体的顶部；调节组件，所述调节组件的底部设置于炉体的顶部，所述调节组件包括安装架，所述安装架的底部设置于炉体的顶部，所述安装架的顶部转动连接有转动盘，所述转动盘的底部贯穿安装架的顶部且延伸至安装架的内部，所述转动盘的底部固定连接有螺纹杆。本实用新型提供一种用于外延炉的监测装置，通过螺纹杆的转动带动螺块向下进行移动，螺块的移动带动安装板向下进行移动，进而调节金属温度计工作时的高度位置，操作简单便捷，十分便于调节金属温度计的工作位置，便于工作人员对炉内温度进行监测。

技术领域

本实用新型涉及外延炉领域，尤其涉及一种用于外延炉的监测装置。

背景技术

为了加工出高性能的半导体器件，一般采用需要采用外延工艺在衬底材料上外延生长一层电阻率和厚度可控的高质量单晶层，以提供高一致性的外延材料，上述外延工艺工作时，则需要使用到外延炉。

外延炉通过感应线圈对石墨基座加热，通入相关气源，气源分解沉积在衬底表层，形成目标外延层。由于温度对生长速率、杂质掺杂、衬底自掺杂影响很大，因此在外延过程中温区分布对外延参数的一致性影响较大。

在相关技术中，外延炉在工作的过程中，需要对内部的温度进行监测。然而，现有的部分监测设备在使用的过程中，不便于调节温度计的工作位置，在调节的过程中需要花费大量的时间和精力。以及不便于进行快速安装，在安装的过后才能中需要花费大量的时间，进而导致工作人员的工作效率较低。

因此，有必要提供一种用于外延炉的监测装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于外延炉的监测装置，解决了在相关技术中，现有的部分监测设备在使用时不便于调节温度计的工作位置，以及不便于进行快速安装的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种用于外延炉的监测装置，包括：炉体；

把手，所述把手的底部固定连接于炉体的顶部；

调节组件，所述调节组件的底部设置于炉体的顶部，所述调节组件包括安装架，所述安装架的底部设置于炉体的顶部，所述安装架的顶部转动连接有转动盘，所述转动盘的底部贯穿安装架的顶部且延伸至安装架的内部，所述转动盘的底部固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底端与安装架内壁的底部转动连接，所述螺纹杆的周侧面螺纹连接有螺块；

安装组件，所述安装组件的左侧固定连接于调节组件的右侧。

优选的，所述螺块的正面和背面均固定连接有凸块，所述凸块的周侧面与安装架的内侧滑动连接，所述安装架的内侧开设有滑动槽。

优选的，所述安装组件包括横板，所述横板的左侧固定连接于安装架的右侧，所述横板的内壁滑动连接有两个滑动块，两个所述滑动块的正面和背面均固定连接有凸板。

优选的，四个所述凸板的周侧面与横板的内侧滑动连接，两个所述滑动块相离的一侧均固定连接有弹簧，两个所述弹簧相离的一侧与横板的内侧固定连接。

优选的，两个所述滑动块的底部均固定连接有夹持板，两个所述夹持板相离的一侧均固定连接有拉环，所述横板的内侧开设有滑槽。

优选的，所述螺块的左侧固定连接有安装板，所述安装板的内侧固定连接有金属温度计，所述安装板顶部的左侧固定连接有监测装置。

与相关技术相比较，本实用新型提供的一种用于外延炉的监测装置具有如下有益效果：