[实用新型]动态阳极遮板有效
申请号: | 202221692006.6 | 申请日: | 2022-06-30 |
公开(公告)号: | CN217479584U | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | 张二航;陈爱民 | 申请(专利权)人: | 东莞市晟悦半导体设备有限公司 |
主分类号: | C25D17/10 | 分类号: | C25D17/10;C25D7/12 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 杨勋 |
地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 动态 阳极 | ||
1.一种动态阳极遮板,其特征在于:
所述动态阳极遮板包括安装板、活动组件及活动遮板组;
所述活动遮板组通过所述活动组件与所述安装板可滑动地连接,且所述活动遮板组与所述安装板间隔,所述安装板与所述活动遮板组之间的区域用于安装阳极;
所述活动遮板组用于在外力作用下相对于所述安装板平移,以调整所述阳极被所述活动遮板遮挡的区域。
2.根据权利要求1所述的动态阳极遮板,其特征在于:
所述活动遮板组包括两个第一活动遮板及两个第二活动遮板;
两个所述第一活动遮板及两个所述第二活动遮板分布于所述安装板的四周,且两个所述第一活动遮板相对设置,两个所述第二活动遮板相对设置。
3.根据权利要求2所述的动态阳极遮板,其特征在于:
所述第一活动遮板沿第一方向与所述安装板可滑动地连接,所述第二活动遮板沿第二方向与所述安装板可滑动地连接;
其中,所述第一方向与所述第二方向垂直。
4.根据权利要求3所述的动态阳极遮板,其特征在于:
所述活动组件包括两个第一活动单元及两个第二活动单元;
每个所述第一活动单元均对应一个所述第一活动遮板,且每个所述第一活动单元均用于驱动对应的所述第一活动遮板沿所述第一方向运动;
每个所述第二活动单元均对应一个所述第二活动遮板,且每个所述第二活动单元均用于驱动对应的所述第二活动遮板沿所述第二方向运动。
5.根据权利要求2所述的动态阳极遮板,其特征在于:
所述第一活动遮板及所述第二活动遮板均设置有多个镂空孔。
6.根据权利要求4所述的动态阳极遮板,其特征在于:
所述第一活动单元包括第一滑轨、第一滑块、第一螺杆及第一电机;
所述第一滑轨沿第一方向延伸并与所述安装板连接;所述第一滑块与所述第一滑轨可滑动地连接,且所述第一滑块与所述第一螺杆螺纹连接;所述第一滑块与对应的所述第一活动遮板连接;所述第一螺杆与所述第一电机传动连接;
其中,所述第一电机用于驱动所述第一螺杆转动,以驱动所述第一滑块以及对应的所述第一活动遮板相对于所述安装板沿所述第一方向运动。
7.根据权利要求4所述的动态阳极遮板,其特征在于:
所述第二活动单元包括第二滑轨、第二滑块、第三滑块、第二螺杆、第一驱动杆、第二驱动杆及第二电机;
所述第二滑轨沿所述第一方向延伸,且与所述安装板连接;所述第二滑块及所述第三滑块均与所述第二滑轨可滑动地配合;所述第二螺杆包括第一螺纹段及第二螺纹段,所述第一螺纹段的旋向与所述第二螺纹段的旋向相反,所述第二滑块及所述第三滑块分别与所述第一螺纹段及所述第二螺纹段螺纹连接;所述第一驱动杆的一端与所述第二驱动杆的一端铰接,所述第一驱动杆的另一端与所述第二滑块铰接,所述第二驱动杆的另一端与所述第三滑块铰接;所述第一驱动杆与所述第二驱动杆的铰接处与对应的所述第二活动遮板连接;所述第二螺杆与所述第二电机传动连接;
其中,所述第二电机用于驱动所述第二螺杆转动,以驱动所述第二滑块及第三滑块运动,进而驱动所述第一驱动杆与所述第二驱动杆的铰接处沿所述第二方向运动,从而驱动所述第二活动遮板相对于所述安装板沿所述第二方向运动。
8.根据权利要求7所述的动态阳极遮板,其特征在于:
所述第二活动单元还包括稳定杆;
所述稳定杆沿所述第二方向与所述第二螺杆或所述安装板可滑动地连接,且所述稳定杆铰接于所述第一驱动杆与所述第二驱动杆的铰接处。
9.根据权利要求8所述的动态阳极遮板,其特征在于:
所述第二活动单元还包括中间块;
所述第二螺杆还包括位于所述第一螺纹段及所述第二螺纹段之间的光杆区;所述中间块可转动地连接于所述光杆区;
所述稳定杆沿所述第二方向与所述中间块可滑动地连接。
10.根据权利要求7所述的动态阳极遮板,其特征在于:
所述第二滑轨包括沿所述第一方向间隔布置的第一分段及第二分段;所述第二滑块与所述第一分段可滑动地配合,所述第二滑块与所述第二分段可滑动地配合。
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