[实用新型]动态阳极遮板

说明书

本实用新型涉及面板电镀技术领域，具体而言，涉及一种动态阳极遮板。动态阳极遮板包括安装板、活动组件及活动遮板组；活动遮板组通过活动组件与安装板可滑动地连接，且活动遮板组与安装板间隔，安装板与活动遮板组之间的区域用于安装阳极；活动遮板组用于在外力作用下相对于安装板平移，以调整阳极被活动遮板遮挡的区域。动态阳极遮板能够根据面板的尺寸进行调整遮挡的区域，而且动态阳极遮板不仅可以覆盖不同尺寸的面板，还可以对面板的边缘实现有效的遮挡，以获得均匀镀层，从而能够保证镀层的均匀性，并扩大可适用的面板尺寸范围，进而使得采用该动态阳极遮板的电镀设备能够兼容不同尺寸的面板。

技术领域

本实用新型涉及面板电镀技术领域，具体而言，涉及一种动态阳极遮板。

背景技术

与晶圆(wafer)相比，由于面板(panel)的大尺寸和更高的载具使用率(95％)，它还带来了远高于晶圆级尺寸晶圆级封装(WLP)的规模经济效益，并且能够实现大型封装的批量生产。由于其潜在的成本效益和产能优势，面板级封装(PLP)正在吸引了市场的广泛关注。对于面板级封装，关键的点是镀层的均匀性和高解析度的再分布层(RDL)电镀铜线路。

但是在面板电镀中，根据不同的工艺和不同的用户，面板的尺寸也不同，而现有的电镀设备相对于不同面板尺寸的兼容性较差，从而导致电镀的成本较高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种动态阳极遮板，其能够根据面板的尺寸进行调整遮挡的区域，而且动态阳极遮板不仅可以覆盖不同尺寸的面板，还可以对面板的边缘实现有效的遮挡，以获得均匀镀层，从而能够保证镀层的均匀性，并扩大可适用的面板尺寸范围，进而使得采用该动态阳极遮板的电镀设备能够兼容不同尺寸的面板。

本实用新型的实施例是这样实现的：

本实用新型提供一种动态阳极遮板，动态阳极遮板包括安装板、活动组件及活动遮板组；

活动遮板组通过活动组件与安装板可滑动地连接，且活动遮板组与安装板间隔，安装板与活动遮板组之间的区域用于安装阳极；

活动遮板组用于在外力作用下相对于安装板平移，以调整阳极被活动遮板遮挡的区域。

在可选的实施方式中，活动遮板组包括两个第一活动遮板及两个第二活动遮板；

两个第一活动遮板及两个第二活动遮板分布于安装板的四周，且两个第一活动遮板相对设置，两个第二活动遮板相对设置。

在可选的实施方式中，第一活动遮板沿第一方向与安装板可滑动地连接，第二活动遮板沿第二方向与安装板可滑动地连接；

其中，第一方向与第二方向垂直。

在可选的实施方式中，活动组件包括两个第一活动单元及两个第二活动单元；

每个第一活动单元均对应一个第一活动遮板，且每个第一活动单元均用于驱动对应的第一活动遮板沿第一方向运动；

每个第二活动单元均对应一个第二活动遮板，且每个第二活动单元均用于驱动对应的第二活动遮板沿第二方向运动。

在可选的实施方式中，第一活动遮板及第二活动遮板均设置有多个镂空孔。

在可选的实施方式中，第一活动单元包括第一滑轨、第一滑块、第一螺杆及第一电机；

第一滑轨沿第一方向延伸并与安装板连接；第一滑块与第一滑轨可滑动地连接，且第一滑块与第一螺杆螺纹连接；第一滑块与对应的第一活动遮板连接；第一螺杆与第一电机传动连接；

其中，第一电机用于驱动第一螺杆转动，以驱动第一滑块以及对应的第一活动遮板相对于安装板沿第一方向运动。

在可选的实施方式中，第二活动单元包括第二滑轨、第二滑块、第三滑块、第二螺杆、第一驱动杆、第二驱动杆及第二电机；