[实用新型]光罩

权利要求书

1.一种光罩，其特征在于，包括：

光罩主体，包括至少一第一开口；

准直遮光层，位于所述光罩主体的一侧，所述准直遮光层包括至少一准直遮光单元，所述准直遮光单元包括一准直孔；

其中，一所述准直遮光单元围绕一所述第一开口设置，在垂直于所述光罩主体的方向上，一所述第一开口与一所述准直孔重合设置。

2.根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，第一截面垂直于所述光罩，在任一所述第一截面上，所述第一开口的宽度为L，所述第一开口的最大宽度为L_max，所述准直遮光单元的厚度为H；

其中，至少一所述准直孔满足以下关系：H≥L_maxtan2°。

3.根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述第一开口为矩形，所述矩形包括两个长边和两个短边，所述短边的长度为M，所述长边的长度为N，所述准直遮光单元的厚度为H；

其中，N≥10M，所述准直孔满足以下关系：H≥Mtan2°。

4.根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述光罩主体包括多个所述第一开口，所述准直遮光层包括多个所述准直遮光单元；

其中，相邻两个所述准直遮光单元间隔设置。

5.根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述光罩主体包括多个所述第一开口，所述准直遮光层包括多个所述准直遮光单元；

其中，相邻两个所述准直遮光单元接触设置。

6.根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述准直遮光层还包括至少一透明单元，所述透明单元位于所述准直孔内。

7.根据权利要求6所述的光罩，其特征在于，所述透明单元与所述准直遮光单元一体设置。

8.根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述光罩还包括位于所述准直遮光层与所述光罩主体之间的金属遮光层，所述金属遮光层包括至少一第三开口，一所述第一开口与一所述第三开口重合设置。

9.根据权利要求8所述的光罩，其特征在于，所述准直遮光单元的透光率小于所述金属遮光层的透光率。

10.根据权利要求8所述的光罩，其特征在于，所述准直遮光单元的厚度大于所述金属遮光层的厚度。