[实用新型]台阶平坦度测量用三坐标探针

权利要求书

1.一种台阶平坦度测量用三坐标探针(100)，其特征在于：包括

第一杆端(100d)，沿第一方向延伸；

第二杆端(100f)，连接于第一杆端(100d)一端；

以及第三杆端(100h)，连接于第二杆端(100f)的另一端，所述第三杆端(100h)的另一端设置有测量头，所述第三杆端(100h)沿第一方向延伸；

其中，所述第一杆端(100d)、第二杆端(100f)和第三杆端(100h)的宽度均为D1，所述第一杆端(100d)和第三杆端(100h)之间的距离为D2，所述D2:D1＝2:1-3:1。

2.根据权利要求1所述的台阶平坦度测量用三坐标探针(100)，其特征在于：所述第一杆端(100d)远离第二杆端(100f)的一端设置有外扩部(100c)，所述外扩部(100c)的另一端设置有手柄部(100b)，所述手柄部(100b)的另一端设置有螺纹部(100a)，所述外扩部(100c)、手柄部(100b)和螺纹部(100a)均沿第一方向延伸。

3.根据权利要求1或2所述的台阶平坦度测量用三坐标探针(100)，其特征在于：所述第二杆端(100f)为直径为D2的半圆形结构。

4.根据权利要求1或2所述的台阶平坦度测量用三坐标探针(100)，其特征在于：所述第二杆端(100f)为直线形结构，所述第二杆端(100f)沿第二方向延伸，所述第二方向垂直于第一方向。

5.根据权利要求4所述的台阶平坦度测量用三坐标探针(100)，其特征在于：所述第二杆端(100f)与第一杆端(100d)之间设置有第一圆弧过渡部(100e)，所述第二杆端(100f)与第三杆端(100h)之间设置有第二圆弧过渡部(100g)。

6.根据权利要求1或2所述的台阶平坦度测量用三坐标探针(100)，其特征在于：所述D1＝1.5mm。

7.根据权利要求1或2所述的台阶平坦度测量用三坐标探针(100)，其特征在于：所述测量头为直径D3＝5mm的球形结构。