[实用新型]台阶平坦度测量用三坐标探针

说明书

本实用新型提供一种台阶平坦度测量用三坐标探针，包括第一杆端、第二杆端以及第三杆端；第一杆端沿第一方向延伸；第二杆端连接于第一杆端一端；第三杆端连接于第二杆端的另一端，所述第三杆端的另一端设置有测量头，所述第三杆端沿第一方向延伸；其中，所述第一杆端、第二杆端和第三杆端的宽度均为D1，所述第一杆端和第三杆端之间的距离为D2，所述D2:D1＝2:1‑3:1。进一步地，所述第一杆端远离第二杆端的一端设置有外扩部，所述外扩部的另一端设置有手柄部，所述手柄部的另一端设置有螺纹部，所述外扩部、手柄部和螺纹部均沿第一方向延伸。本申请针对特殊产品的台阶面测量而设计的三坐标探针，能够提高测量的效率和测量精度。

技术领域

本实用新型涉及一种三坐标探针，尤其是一种台阶平坦度测量用三坐标探针。

背景技术

一些clamp ring产品(压紧环、夹环等)半导体元件中，其背面在加工晶圆的过程中起到沉积铝的作用，在取出铝的时候会破坏产品原有的构造导致背面形成喷砂面，所以无法保证产品背面是水平的，在测量产品内部台阶平坦度时，就无法使用产品背面为基准面，但是这样就会出现三坐标探针无法伸入产品内部测量隐藏起来的台阶的平坦度。

所以，本申请提出一种台阶平坦度测量用三坐标探针，能够伸入产品内部与隐藏的台阶接触，以产品正面为基准面，保证基准面水平，实现台阶平坦度的测量，提高工作效率和测量精度。

发明内容

针对现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种台阶平坦度测量用三坐标探针，针对特殊产品的台阶面测量而设计，能够提高测量的效率和测量精度。

本实用新型采用的技术方案是：

一种台阶平坦度测量用三坐标探针，包括

第一杆端，沿第一方向延伸；

第二杆端，连接于第一杆端一端；

以及第三杆端，连接于第二杆端的另一端，所述第三杆端的另一端设置有测量头，所述第三杆端沿第一方向延伸；

其中，所述第一杆端、第二杆端和第三杆端的宽度均为D1，所述第一杆端和第三杆端之间的距离为D2，所述D2:D1＝2:1-3:1。

进一步地，所述第一杆端远离第二杆端的一端设置有外扩部，所述外扩部的另一端设置有手柄部，所述手柄部的另一端设置有螺纹部，所述外扩部、手柄部和螺纹部均沿第一方向延伸。

进一步地，所述第二杆端为直径为D2的半圆形结构。

进一步地，所述第二杆端为直线形结构，所述第二杆端沿第二方向延伸，所述第二方向垂直于第一方向。

进一步地，所述第二杆端与第一杆端之间设置有第一圆弧过渡部，所述第二杆端与第三杆端之间设置有第二圆弧过渡部。

进一步地，所述D1＝1.5mm。

进一步地，所述测量头为直径D3＝5mm的球形结构。

本实用新型的优点：

本申请应对clamp ring产品的复杂结构，由于产品背面为喷砂面无法确保水平，所以改用产品水平面作为基准面进行测量，导致台阶朝下，传统的竖直探针无法穿过中孔接触台阶位置，所以为了方便测量，设计一种针对该台阶面测量的三坐标探针，能够弯曲伸入中孔内并与在三坐标仪的带动下与台阶位置接触，满足台阶面的平坦度测量要求。

附图说明

图1为本实用新型的结构组成示意图。

图2为本实用新型使用状态示意图。

图3为图2中A处局部放大图。