[实用新型]一种分体式坩埚

权利要求书

1.一种分体式坩埚，其特征在于：包括同轴设置的内坩埚(1)和防护罩(2)，所述内坩埚(1)为圆筒结构，包括埚体(12)和埚托(13)，所述埚体(12)的一端连接有外延台(11)，另一端与埚托(13)连接，所述防护罩(2)包括分体块(21)和卡箍(3)，多个所述分体块(21)包裹埚体(12)和埚托(13)的外侧壁，且通过卡箍(3)固定。

2.如权利要求1所述的分体式坩埚，其特征在于：所述外延台(11)为圆筒形，外延台(11)的内侧壁倾斜设置，外延台(11)的开口内径大于内坩埚(1)的内径。

3.如权利要求2所述的分体式坩埚，其特征在于：所述防护罩(2)为圆筒形，防护罩(2)的外径与外延台(11)的外径相同。

4.如权利要求3所述的分体式坩埚，其特征在于：所述防护罩(2)的内径大于内坩埚(1)的外径。

5.如权利要求1所述的分体式坩埚，其特征在于：所述外延台(11)与埚体(12)的外侧壁通过圆弧段连接。

6.如权利要求1所述的分体式坩埚，其特征在于：所述埚体(12)内侧壁与埚托(13)的内侧壁相贴。

7.如权利要求1所述的分体式坩埚，其特征在于：所述卡箍(3)包括卡箍片(31)，所述卡箍片(31)的两端均设有连接座(32)，两个所述连接座(32)通过锁紧螺栓(33)连接。

8.如权利要求1所述的分体式坩埚，其特征在于：所述内坩埚(1)的材质为氮化硅，所述防护罩(2)的材质为石英，所述卡箍(3)的材质为铜。