[实用新型]一种分体式坩埚

说明书

本实用新型提供了一种分体式坩埚，包括同轴设置的内坩埚和防护罩，所述内坩埚为圆筒结构，包括埚体和埚托，所述埚体的一端连接有外延台，另一端与埚托连接，所述防护罩包括分体块和卡箍，多个所述分体块包裹埚体和埚托的外侧壁，且通过卡箍固定；本实用新型提供的分体式坩埚结构简单，拆装便捷，清理方便，能重复利用，节约生产成本。

技术领域

本实用新型属于金属熔炼领域和多晶硅铸锭技术领域，具体是涉及到一种分体式坩埚。

背景技术

为防止生产过程中坩埚破裂导致熔液流出，进而烧坏炉体发生危险，坩埚侧壁需要设置防护罩，目前，坩埚和防护罩均为一体式结构。一体式坩埚只要有一部分损坏就无法正常使用，需要将整个坩埚报废，导致坩埚使用成本较高和多晶硅的生产成本高，而且产生碎坩埚等废弃物；当坩埚冷却后，由于热胀冷缩的缘故，坩埚与一体式的防护罩紧密接触，在拆清工序时取出坩埚非常困难。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单，拆装便捷，清理方便，能重复利用，节约生产成本的分体式坩埚。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案如下，一种分体式坩埚，包括同轴设置的内坩埚和防护罩，所述内坩埚为圆筒结构，包括埚体和埚托，所述埚体的一端连接有外延台，另一端与埚托连接，所述防护罩包括分体块和卡箍，多个所述分体块包裹埚体和埚托的外侧壁，且通过卡箍固定。

更具体的，所述外延台为圆筒形，外延台的内侧壁倾斜设置，外延台的开口内径大于内坩埚的内径。

更具体的，所述防护罩为圆筒形，防护罩的外径与外延台的外径相同。

更具体的，所述防护罩的内径大于内坩埚的外径。

更具体的，所述外延台与埚体的外侧壁通过圆弧段连接。

更具体的，所述埚体内侧壁与埚托的内侧壁相贴。

更具体的，所述卡箍包括卡箍片，所述卡箍片的两端均设有连接座，两个所述连接座通过锁紧螺栓连接。

更具体的，所述内坩埚的材质为氮化硅，所述防护罩的材质为石英，所述卡箍的材质为铜。

本实用新型的有益效果是，分体块为两个半圆筒，使用微波加热时，两个半圆筒形的分体块套在内坩埚的外侧壁上，内坩埚与分体块衔接面平整，外延台能限定分体块的位置，然后用卡箍3固定，能实现快速升温，适用于有色金属熔炼和多晶硅制备；由于一体式的坩埚在加热时，坩埚的上部和下部存在的温度差，易导致坩埚破裂，故本实施例的内坩埚采用埚体和埚托的分体式设计，能减少内坩埚侧壁的热应力，降低内坩埚破裂的几率；防护罩通过卡箍固定，结构简单，拆装方便，能解决内坩埚和防护罩加热膨胀后不能拆卸的问题，能快速取出内坩埚，便于取料和清理，替换损坏部分后能多次利用，大幅节约生产成本。

附图说明

图1为本实用新型其中一实施例的结构示意图；

图2为图1所示的实施例另一视角的结构示意图；

图3为图1所示内坩埚的结构示意图；

图4为图3所示的内坩埚另一视角的结构示意图；

图5为图1所示的防护罩的结构示意图；

图6为图1所示的卡箍的结构示意图。

在图中，1、内坩埚；11、外延台；12、埚体；13、埚托；14、圆弧段；2、防护罩；21、分体块；3、卡箍；31、卡箍片；32、连接座；33、锁紧螺栓。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明：