[实用新型]一种散热装置和镀膜设备

权利要求书

1.一种散热装置，其特征在于，包括：

基板；

吸热层，设置于所述基板的至少部分表面；

冷却组件，设置于所述基板的表面、或设置于所述吸热层的表面，或设置于所述基板的表面和所述吸热层的表面。

2.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述基板的表面包括相对的第一表面和第二表面，所述吸热层设置于所述第一表面，所述冷却组件设置于所述第二表面。

3.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述基板的表面包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面的面积小于所述吸热层表面的面积时，所述吸热层设置于所述第一表面，所述冷却组件设置于所述第二表面和所述吸热层的表面。

4.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述吸热层的热吸收率大于所述吸热层的热反射率。

5.根据权利要求4所述的散热装置，其特征在于，所述吸热层的热吸收率与所述吸热层的热反射率之比为6：1~14：1。

6.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述吸热层包括黑铬吸热层和石墨吸热层中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述吸热层镀设或涂覆于所述基板的至少部分表面。

8.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述冷却组件包括：

进入管，用于通入冷却介质；

排出管，用于排出所述冷却介质；

多个分流管，间隔设置于所述排出管与所述进入管之间，所述分流管与所述排出管和所述进入管连通。

9.根据权利要求8所述的散热装置，其特征在于，所述进入管具有多个进液口，所述排出管具有多个出液口。

10.根据权利要求8所述的散热装置，其特征在于，所述进入管具有的进液口位于所述进入管的端部，所述排出管具有的出液口位于所述排出管的端部；和/或，

所述进入管具有的进液口位于所述进入管的两个端部之间，所述排出管具有的出液口位于所述排出管的两个端部之间。

11.根据权利要求10所述的散热装置，其特征在于，所述进入管具有的进液口位于所述进入管的两个端部之间，所述排出管具有的出液口位于所述排出管的两个端部之间的情形下，所述进入管具有的进液口位于所述进入管的1/2处，所述排出管具有的出液口位于所述排出管的1/2处。

12.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述冷却组件包括：

至少一个冷却管，所述冷却管具有连通的进液口和出液口，所述进液口用于通入冷却介质，所述出液口用于排出所述冷却介质。

13.根据权利要求12所述的散热装置，其特征在于，所述冷却管为蛇形冷却管、螺旋形冷却管、回字形冷却管中的一种或多种。

14.根据权利要求8至13任一项所述的散热装置，其特征在于，所述冷却介质为气体、水、去离子水、电子氟化液、液态金属中的任意一种。

15.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述吸热层的表面的粗糙度大于0.4μm。

16.一种镀膜设备，其特征在于，包括工艺腔室和权利要求1至15任一项所述的散热装置；

所述散热装置设置于所述工艺腔室内，所述散热装置包括的冷却组件与所述工艺腔室的外部连通。

17.根据权利要求16所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括加热结构；

所述加热结构设置于所述工艺腔室内，所述散热装置包括的吸热层与所述加热结构相对设置。