[实用新型]一种晶圆上料抓取装置

权利要求书

1.一种晶圆上料抓取装置，其特征在于，包括：

码放架，所述码放架上阵列布设有若干码放工位；

若干承载件，定位放置在所述码放工位，用于码放晶圆；

第一搬运机构，包括三轴移动平台、第一旋转台以及至少两套夹持组件，所述三轴移动平台驱动第一旋转台移动，所述第一旋转台驱动夹持组件转动，所述夹持组件可夹持至少一套承载件；

第二搬运机构，包括第二旋转台以及至少两套升降组件，所述第二旋转台驱动升降组件转动；所述升降组件上设有至少一放置台，所述放置台可限位放置至少一承载件；所述第一搬运机构和第二搬运机构配合将码放工位上的承载件移位至放置台；

至少一抓取机构，用于将位于所述放置台的承载件上码放的晶圆挪出。

2.根据权利要求1所述的晶圆上料抓取装置，其特征在于：所述码放工位和放置台上均设有至少一定位块，所述承载件上设有与定位块配合的定位槽。

3.根据权利要求1所述的晶圆上料抓取装置，其特征在于：每一码放工位对应放置一套承载件；所述码放工位上设有用于检测承载件上是否码放有晶圆的检测传感器。

4.根据权利要求1所述的晶圆上料抓取装置，其特征在于：所述三轴移动平台包括X轴移动模组、Y轴移动模组和Z轴移动模组；所述X轴移动模组、Y轴移动模组、Z轴移动模组和升降组件均包括螺杆、第一电机、至少一安装架、至少一导轨以及至少一滑块；

所述导轨固定在安装架上，所述螺杆转动连接在安装架上，且所述螺杆与导轨相互平行；所述滑块滑动连接在导轨上，且所述滑块与螺杆螺纹连接；所述第一电机固定在安装架上，且所述第一电机与螺杆传动连接；

所述X轴移动模组的安装架固定在Z轴移动模组的滑块上，所述Y轴移动模组的安装架固定在X轴移动模组的滑块上，所述第一旋转台固定在Y轴移动模组的滑块上；所述放置台固定在升降组件的滑块上。

5.根据权利要求4所述的晶圆上料抓取装置，其特征在于，还包括：用于检测所述X轴移动模组的滑块位置的至少一第一位置传感器，用于检测所述Y轴移动模组的滑块位置的至少一第二位置传感器，用于检测所述Z轴移动模组的滑块位置的至少一第三位置传感器，用于检测所述放置台位置的至少一第四位置传感器。

6.根据权利要求1所述的晶圆上料抓取装置，其特征在于：所述第一旋转台和第二旋转台均包括台座、转座和第二电机，所述转座转动连接在台座上；所述第二电机固定在台座上，且所述第二电机的输出轴与转座传动连接；所述夹持组件固定在第一旋转台的转座上，所述升降组件固定在第二旋转台的转座上。

7.根据权利要求6所述的晶圆上料抓取装置，其特征在于：所述台座上设有至少一用于检测转座位置的第五位置传感器。

8.根据权利要求1所述的晶圆上料抓取装置，其特征在于：所述夹持组件的数量为偶数，所述夹持组件以第一旋转台的旋转轴为中心作圆周均布，或者，所述夹持组件等分为两组并对称地设置在第一旋转台的两端；所述升降组件的数量与夹持组件的数量相等，且所述升降组件相对第二旋转台的布置方式与夹持组件相对第一旋转台的布置方式一致。

9.根据权利要求1所述的晶圆上料抓取装置，其特征在于：所述夹持组件包括双向气缸和两块夹块，两块所述夹块分别与双向气缸两侧的推杆连接，所述双向气缸驱动两块夹块相对移动；所述夹块与承载件的外形相适配；所述夹块上还设有防止晶圆掉落的挡板。

10.根据权利要求1所述的晶圆上料抓取装置，其特征在于：所述抓取机构包括传送皮带和第三电机，所述第三电机驱动传送皮带转动；所述放置台上设有与传送皮带相适配的避让槽，所述传送皮带置于该避让槽中；所述承载件上设有与避让槽相适配的豁口；所述升降组件和抓取机构配合将码放在承载件上的晶圆逐一挪出。