[实用新型]单晶炉的电极防护件、电极安装结构和单晶炉有效
申请号: | 202221767206.3 | 申请日: | 2022-07-08 |
公开(公告)号: | CN218026448U | 公开(公告)日: | 2022-12-13 |
发明(设计)人: | 赵永洪;杨文凡 | 申请(专利权)人: | 曲靖隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 刘彦哲 |
地址: | 655099 云南省曲*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉 电极 防护 安装 结构 | ||
1.一种单晶炉的电极防护件,其特征在于,用于设置在单晶炉的炉底板的上表面,所述电极防护件包括:
通孔,用于使电极穿过,
环形防护壁,由所述电极防护件的上表面向上延伸,以包裹在所述电极的外周面上,以及
异物储存槽,设置于所述电极防护件的上表面,所述异物储存槽环绕所述环形防护壁。
2.根据权利要求1所述的电极防护件,其特征在于,所述电极防护件上还设置有与所述通孔同轴的沉头孔,所述沉头孔能够与所述电极配合,以对所述电极进行轴向限位,所述环形防护壁由所述沉头孔的上端向上延伸。
3.根据权利要求2所述的电极防护件,其特征在于,所述环形防护壁与所述沉头孔的孔壁一体成型。
4.根据权利要求1所述的电极防护件,其特征在于,所述电极防护件构造为环形结构,所述电极防护件的外径大于所述炉底板的电极安装孔的直径。
5.根据权利要求1所述的电极防护件,其特征在于,所述电极防护件采用陶瓷材质制成。
6.一种单晶炉的电极安装结构,其特征在于,包括:
炉底板,设置有用于使电极穿过的电极安装孔,
电极防护件,构造为权利要求1-5中任一项所述的电极防护件,以及
绝缘防护套,设置在所述电极与所述电极安装孔之间,所述绝缘防护套的上端插入所述通孔与所述电极之间,所述绝缘防护套的下端从所述电极安装孔中伸出。
7.根据权利要求6所述的电极安装结构,其特征在于,所述绝缘防护套采用玻璃纤维材质制成。
8.一种单晶炉,其特征在于,包括权利要求6或7所述的电极安装结构。
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