[实用新型]单晶炉的电极防护件、电极安装结构和单晶炉有效

专利信息
申请号: 202221767206.3 申请日: 2022-07-08
公开(公告)号: CN218026448U 公开(公告)日: 2022-12-13
发明(设计)人: 赵永洪;杨文凡 申请(专利权)人: 曲靖隆基硅材料有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 代理人: 刘彦哲
地址: 655099 云南省曲*** 国省代码: 云南;53
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摘要:
搜索关键词: 单晶炉 电极 防护 安装 结构
【说明书】:

本公开涉及一种单晶炉的电极防护件、电极安装结构和单晶炉,所述电极防护件用于设置在单晶炉的炉底板的上表面,所述电极防护件包括:通孔,用于使电极穿过,环形防护壁,由所述电极防护件的上表面向上延伸,以包裹在所述电极的外周面上,以及异物储存槽,设置于所述电极防护件的上表面,所述异物储存槽环绕所述环形防护壁。通过上述技术方案,本公开提供的单晶炉电极防护件、单晶炉电极安装结构和单晶炉能够解决电极裸露部分过大易产生打火现象的技术问题。

技术领域

本公开涉及单晶炉设备技术领域,具体地,涉及一种单晶炉电极防护件、单晶炉电极安装结构和单晶炉

背景技术

单晶炉在拉晶生产过程中需通过电极向石墨加热系统供电,因此电极的固定方式和结构是保证单晶炉稳定生产和提升的重要因素。电极通常安装在炉底板区域,电极不可与金属炉底板产生接触或产生连导,如产生接触或连导会造成打火现象发生,打火可造成炉底板损坏,严重的会造成拉晶质量事故,产生大量的维修费用。因此,为了避免电极与炉底板接触,通常在金属炉底板与电极之间垫一个类似于平垫圈的圆形陶瓷环,以通过圆形陶瓷环来隔绝电极与金属炉底板的直接接触。

然而,现有的圆形陶瓷环仅起到隔断电极与炉底板的直接接触的作用,电极的圆周面裸露在外,当电极的圆周面与堆积的粉末状异物或硅料硅液产生接触或连导,可能会导致打火现象发生。

实用新型内容

本公开的目的是提供一种单晶炉电极防护件、单晶炉电极安装结构和单晶炉,以解决电极裸露部分过大易产生打火现象的技术问题。

为了实现上述目的,本公开提供一种单晶炉的电极防护件,用于设置在单晶炉的炉底板的上表面,所述电极防护件包括:通孔,用于使电极穿过,环形防护壁,由所述电极防护件的上表面向上延伸,以包裹在所述电极的外周面上,以及异物储存槽,设置于所述电极防护件的上表面,所述异物储存槽环绕所述环形防护壁。

可选地,所述电极防护件上还设置有与所述通孔同轴的沉头孔,所述沉头孔能够与所述电极配合,以对所述电极进行轴向限位,所述环形防护壁由所述沉头孔的上端向上延伸。

可选地,所述环形防护壁与所述沉头孔的孔壁一体成型。

可选地,所述电极防护件构造为环形结构,所述电极防护件的外径大于所述炉底板的电极安装孔的直径。

可选地,所述电极防护件采用陶瓷材质制成。

在上述技术方案的基础上,本公开还提供一种单晶炉的电极安装结构,包括:炉底板,设置有用于使电极穿过的电极安装孔,电极防护件,构造上述技术方案中的电极防护件,以及绝缘防护套,设置在所述电极与所述电极安装孔之间,所述绝缘防护套的上端插入所述通孔与所述电极之间,所述绝缘防护套的下端从所述电极安装孔中伸出。

可选地,所述绝缘防护套采用玻璃纤维材质制成。

在上述技术方案的基础上,本公开还提供一种单晶炉,包括上述技术方案中的电极安装结构。

通过上述技术方案,本公开所提供的单晶炉的电极防护件能够避免电极与炉底板的上表面的接触,电极防护件的环形防护壁能够包裹电极的裸露在外的外周面,异物储存槽能够存储粉末状异物等杂质,避免堆积的粉末状异物或硅料硅液与电极的圆周面产生接触或连导。本公开提供的单晶炉的电极安装结构具有与上述技术方案中的电极防护件相同的技术效果,为了避免不必要的重复,在此不做赘述,此外,本公开的电极安装结构的绝缘防护套设置在电极和电极安装孔之间,能够避免电极与电极安装孔之间的直接接触处,进一步提高电极与炉底板之间的绝缘可靠性。本公开提供的单晶炉具有与上述技术方案中的电极安装结构相同的技术效果,为了避免不必要的重复,在此不做赘述。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

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