[实用新型]一种可叠层镀镍后的退火工装有效
申请号: | 202221783057.X | 申请日: | 2022-07-11 |
公开(公告)号: | CN218404359U | 公开(公告)日: | 2023-01-31 |
发明(设计)人: | 蔡泽华;姚欢;刘秀苗 | 申请(专利权)人: | 长沙升华微电子材料有限公司 |
主分类号: | C22F1/02 | 分类号: | C22F1/02;C22F1/10;C25D5/50;C25D3/12;C21D1/30;C21D9/00 |
代理公司: | 长沙轩荣专利代理有限公司 43235 | 代理人: | 丁耀鹏 |
地址: | 410699 湖南省长沙市宁*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 可叠层镀镍后 退火 工装 | ||
1.一种可叠层镀镍后的退火工装,其特征在于,包括载物板和限位块,所述载物板用于放置退火材料,所述限位块连接于所述载物板的两侧,所述限位块的下表面形成有限位槽,所述限位块的上表面形成有限位凸起,或所述限位块的下表面形成有限位凸起,所述限位块的上表面形成有限位槽,所述限位槽与所述限位凸起相配合,以使所述载物板依次叠层,所述载物板的周向还形成有保护边框,以阻挡退火材料从所述载物板上滑落。
2.根据权利要求1所述的一种可叠层镀镍后的退火工装,其特征在于,所述载物板为矩形板,包括长边与短边,所述限位块位于所述载物板的长边位置。
3.根据权利要求2所述的一种可叠层镀镍后的退火工装,其特征在于,所述限位块包括第一限位块和第二限位块,所述第一限位块位于所述长边的中部,所述第二限位块位于所述长边的两端。
4.根据权利要求1所述的一种可叠层镀镍后的退火工装,其特征在于,所述载物板的厚度不小于2mm。
5.根据权利要求1所述的一种可叠层镀镍后的退火工装,其特征在于,所述限位块的材质为F347不锈钢。
6.根据权利要求1所述的一种可叠层镀镍后的退火工装,其特征在于,所述限位块的高度不低于10mm。
7.根据权利要求1所述的一种可叠层镀镍后的退火工装,其特征在于,所述限位槽的深度、所述限位凸起的高度不少于3mm。
8.根据权利要求1所述的一种可叠层镀镍后的退火工装,其特征在于,第一限位块的限位槽、限位凸起与载物板的长边方向垂直,第二限位块的限位槽、限位凸起与载物板的长边方向平行。
9.根据权利要求1所述的一种可叠层镀镍后的退火工装,其特征在于,所述载物板的两侧均形成有嵌合块,所述限位块上形成有与所述嵌合块对应的嵌合孔,以使所述限位块与所述载物板嵌合固定。
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