[实用新型]一种晶圆玻璃粉擦除加工装置

权利要求书

1.一种晶圆玻璃粉擦除加工装置，其特征在于：包括装置支架(1)，所述装置支架(1)上设有晶圆夹持组件(2)，所述晶圆夹持组件(2)安装在装置支架(1)的内部上方，所述装置支架(1)内还安装有擦除组件(3)，所述擦除组件(3)位于晶圆夹持组件(2)的下方，所述装置支架(1)的外部底端安装有粉末回收组件(4)，所述粉末回收组件(4)包括回收口(43)，所述回收口(43)延伸至装置支架(1)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆玻璃粉擦除加工装置，其特征在于：所述晶圆夹持组件(2)包括夹持外壳(21)，所述夹持外壳(21)安装在装置支架(1)的内部，所述夹持外壳(21)内转动连接有双向螺杆(23)，所述夹持外壳(21)的一侧安装有第一电机(24)，所述双向螺杆(23)的一端延伸至夹持外壳(21)的外部并与第一电机(24)的输出轴固定连接，所述双向螺杆(23)上对称螺纹连接有第一滑块(22)，所述第一滑块(22)的一端向下延伸至夹持外壳(21)的外部并固定连接有夹持杆(25)，所述夹持杆(25)的对立面之间转动连接有吸盘(27)，其中一根所述夹持杆(25)的外侧安装有第二电机(28)，所述第二电机(28)的输出轴与同侧的吸盘(27)固定连接，另一个通过连接杆与夹持杆(25)转动连接，连接杆上异于吸盘(27)的一端固定连接有限位块(26)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆玻璃粉擦除加工装置，其特征在于：所述夹持外壳(21)上开设有可供第一滑块(22)滑动的滑槽。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆玻璃粉擦除加工装置，其特征在于：所述擦除组件(3)包括擦除外壳(31)，所述擦除外壳(31)内对称转动连接有丝杆(35)，所述丝杆(35)的一端延伸至擦除外壳(31)的外部并固定连接有旋钮(36)，所述丝杆(35)上螺纹连接有第二滑块(33)，所述第二滑块(33)的一端向上延伸至擦除外壳(31)的外部并固定连接有擦除块(32)，两个所述擦除块(32)的对立面之间固定连接有擦布(34)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆玻璃粉擦除加工装置，其特征在于：所述擦除外壳(31)上开设有可供第二滑块(33)活动的滑槽。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆玻璃粉擦除加工装置，其特征在于：所述粉末回收组件(4)还包括回收箱(41)，所述回收箱(41)安装在装置支架(1)的外部底端，所述回收口(43)与回收箱(41)相通，所述回收口(43)内安装有抽风机(42)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆玻璃粉擦除加工装置，其特征在于：所述回收口(43)的顶端呈漏斗状。