[实用新型]一种自动裂片机的精密旋转平台

权利要求书

1.一种自动裂片机的精密旋转平台，其特征在于，包括与裂片机机架通过导轨滑动连接的底板（1），在底板（1）上设有用于带动半导体晶圆转动的旋转盘（2），所述底板（1）采用中空结构，旋转盘（2）通过交叉滚子轴承（3）与底板转动连接，底板（1）在旋转盘（2）的一侧设有用于带动旋转盘转动的驱动机构。

2.根据权利要求1所述的一种自动裂片机的精密旋转平台，其特征在于，所述交叉滚子轴承（3）的外环（4）上、下表面分别设有用于将外环（4）夹紧固定的轴承外压盖（5）和轴承外底盖（6），轴承外压盖（5）与轴承外底盖（6）之间通过贯穿外环的连接柱（7）固定锁紧在底板（1）上，交叉滚子轴承（3）的内环（8）由轴承内压盖（12）和轴承内底盖（13）夹紧，轴承内压盖（12）上固定有齿圈（9），旋转盘（2）同心固定在齿圈（9）内，随齿圈（9）同步转动，齿圈（9）与驱动机构上的滚轮配合连接。

3.根据权利要求2所述的一种自动裂片机的精密旋转平台，其特征在于，所述驱动机构包括步进电机（10）和滚轮，滚轮与齿圈（9）啮合，由步进电机（10）驱动滚轮转动，带动齿圈（9）转动。

4.根据权利要求3所述的一种自动裂片机的精密旋转平台，其特征在于，所述齿圈（9）采用TCG齿圈，TCG齿圈采用TCG齿形，滚轮的滚销与齿圈（9）的齿面保持常时接触。

5.根据权利要求3所述的一种自动裂片机的精密旋转平台，其特征在于，所述步进电机（10）与滚轮之间通过谐波减速机连接。

6.根据权利要求5所述的一种自动裂片机的精密旋转平台，其特征在于，所述步进电机（10）和谐波减速机均固定在马达安装架（11）上，底板（1）上设有用于固定马达安装架（11）的螺栓孔，螺栓孔成对设置并沿齿圈（9）的径向方向排布在底板（1）上。