[实用新型]均流反应槽有效
| 申请号： | 202221811030.7 | 申请日： | 2022-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN217989333U | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 戴洪烨;冯华 | 申请（专利权）人： | 无锡釜川科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/24 | 分类号： | B01J19/24;H01L21/67;B08B3/08 |
| 代理公司： | 苏州今迈知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32524 | 代理人： | 沈月玲 |
| 地址： | 214194 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反应 | ||
1.一种均流反应槽，其特征在于，包括内置流动液体的槽体，所述槽体中放置有浸没于液体中的若干组硅片，每组所述硅片均对应安装于载具中；
设于槽体中用于支撑载具的支架；
以及设置在相邻载具之间的竖向隔离结构，所述竖向隔离结构用于约束槽体内的液体沿硅片表面朝向槽体开口方向流动。
2.如权利要求1所述的均流反应槽，其特征在于，所述槽体的开口处与槽体底部之间通过管路连通形成循环回路，所述循环回路上安装有阀门及水泵。
3.如权利要求2所述的均流反应槽，其特征在于，所述槽体开口处的外周设有横截面呈L型的围挡，围挡与槽体侧壁之间形成条形槽，所述条形槽的下端开设有与管路相连通的回流孔。
4.如权利要求1所述的均流反应槽，其特征在于，所述竖向隔离结构为第一隔板，所述第一隔板由若干块纵横交错连接的板体构成。
5.如权利要求4所述的均流反应槽，其特征在于，所述第一隔板位于所述支架上方。
6.如权利要求5所述的均流反应槽，其特征在于，所述支架下方设置有与第一隔板结构一致的第二隔板，第二隔板下端接触槽体的底面，第一隔板与第二隔板将槽体划分为若干相互独立的区域。
7.如权利要求6所述的均流反应槽，其特征在于，每个所述区域底部的槽体上均开设有与管路相互连通的通孔。
8.如权利要求1所述的均流反应槽，其特征在于，所述竖向隔离结构为排布成线性且垂直于水平面的导流管。
9.如权利要求1所述的均流反应槽，其特征在于，每组所述硅片均由若干片单片硅片排列构成。
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