[实用新型]均流反应槽

说明书

本实用新型公开了均流反应槽，属于硅片湿制设备、清洁设备技术领域，其包括内置流动液体的槽体，所述槽体中放置有浸没于液体中的若干组硅片，每组所述硅片均对应安装于载具中；设于槽体中用于支撑载具的支架；以及设置在相邻载具之间的竖向隔离结构，所述竖向隔离结构用于约束槽体内的液体沿硅片表面朝向槽体开口方向流动。本方案提高液体从下往上定向流动的能力，降低液体横向流动及涡流滞留的情况，达到提高整个反应槽中化学反应一致性和稳定性。

技术领域

本实用新型属于硅片湿制设备、清洁设备技术领域，具体涉及均流反应槽。

背景技术

目前市场主流硅片尺寸为M6(166mm)和M10(182mm)规格，增加电池片尺寸来提升单片组件功率，进而降低度电成本是光伏制造的发展趋势，M12 (210mm)规格硅片也将会成为新的主流规格，随着大尺寸电池片的推进，超大产能的应用，硅片清洁所用的反应槽槽体体积也需要随之增加。

现有的反应槽结构因槽体体积大，片盒(也可称为花篮)尺寸也随之增大，单次化学反应的数量增多而产生液体横向串流、涡流的情况，增加化学药液分布均匀性难度，同时反应槽内各区域温度、液体的流速差异较大，不能有效确保各硅片载具之间及各硅片之间化学药液浓度的均匀性，进而无法维持反应槽中化学反应的一致性和稳定性。

实用新型内容

本实用新型提供了均流反应槽，用以解决目前反应槽中液体定向均流性差的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：

均流反应槽，包括内置流动液体的槽体，所述槽体中放置有浸没于液体中的若干组硅片，每组所述硅片均对应安装于载具中；

设于槽体中用于支撑载具的支架；

以及设置在相邻载具之间的竖向隔离结构，所述竖向隔离结构用于约束槽体内的液体沿硅片表面朝向槽体开口方向流动。

具体地，所述槽体的开口处与槽体底部之间通过管路连通形成循环回路，所述循环回路上安装有阀门及水泵。

具体地，所述槽体开口处的外周设有横截面呈L型的围挡，围挡与槽体侧壁之间形成条形槽，所述条形槽的下端开设有与管路相连通的回流孔。

具体地，所述竖向隔离结构为第一隔板，所述第一隔板由若干块纵横交错连接的板体构成。

具体地，所述第一隔板位于所述支架上方。

具体地，所述支架下方设置有与第一隔板结构一致的第二隔板，第二隔板下端接触槽体的底面，第一隔板与第二隔板将槽体划分为若干相互独立的区域。

具体地，每个所述区域底部的槽体上均开设有与管路相互连通的通孔。

具体地，所述竖向隔离结构为排布成线性且垂直于水平面的导流管。

具体地，每组所述硅片均由若干片单片硅片排列构成。

本实用新型提供的技术方案与现有技术相比具有如下优势：

1、采用竖向隔离结构对反应槽中化学液体的流动方向进行约束，提高液体从下往上定向流动的能力，降低液体横向流动及涡流滞留的情况，达到提高整个反应槽中化学反应一致性和稳定性的目的。

2、构建循环回流管路，使得化学药液从槽体开口处四溢而出，再从槽体底部的若干通孔流入，不仅节约药液，利于从槽体外部增设水泵、阀门来调节药液流动速率，还能够使得药液在进入和流出槽体中都相对均匀，避免单向流出或单点流入，进一步提高化学药液在槽体中流动的均匀性。

附图说明

图1是本实施例中反应槽中竖向隔离结构的结构图；

图2是本实施例中反应槽中液体的流动原理图。

图中所示：