[实用新型]一种改善平面溅射防开裂靶有效
| 申请号： | 202221814099.5 | 申请日： | 2022-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN217809636U | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 侯俊男;牛中奇 | 申请（专利权）人： | 东莞市兆广电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 东莞市凯粤智华专利商标代理事务所(普通合伙) 44698 | 代理人： | 牛瑞婷 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改善 平面 溅射 开裂 | ||
【权利要求书】：
1.一种改善平面溅射防开裂靶，包括背板(1)，其特征在于：所述背板(1)的表面通过粘结材料粘结有靶材(2)，所述背板(1)的表面设置有导热合金条(3),所述靶材(2)的长度为90-130mm，宽度为55-70mm，每个靶片拼接的间隙为0.3mm,所述背板(1)的表面且没有磁场的位置开设有安装槽，所述导热合金条(3)嵌合于安装槽的内腔,所述导热合金条(3)与靶材(2)的间隙在0.2-1mm之间。
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