[实用新型]一种用于插片机的硅片篮输送装置有效

专利信息
申请号: 202221823686.0 申请日: 2022-07-14
公开(公告)号: CN217768328U 公开(公告)日: 2022-11-08
发明(设计)人: 章祥静;周裕吉 申请(专利权)人: 无锡荣能半导体材料有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 代理人: 袁诚
地址: 214183 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 插片机 硅片 输送 装置
【权利要求书】:

1.一种用于插片机的硅片篮输送装置,包括底板(1),其特征在于,所述底板(1)的上表面固定连接有多个支撑板(2),每两个支撑板(2)之间设置有传送带(3),传送带(3)的外表面设置有皮带固定夹块(4),皮带固定夹块(4)之间固定连接有安装板(5),安装板(5)的底部固定连接有顶升气缸(6),顶升气缸(6)的输出端固定连接有安装座(7),安装座(7)的两侧固定连接有中心杆(8),中心杆(8)的两端分别固定连接有同一个纵向杆(9),纵向杆(9)的两端分别固定连接有同一个横向杆(10),横向杆(10)的上表面固定连接有多个支撑座(11),支撑座(11)、横向杆(10)和纵向杆(9)之间形成U型槽。

2.根据权利要求1所述的一种用于插片机的硅片篮输送装置,其特征在于,所述安装板(5)的底部固定连接有多个横移滑块(12)。

3.根据权利要求2所述的一种用于插片机的硅片篮输送装置,其特征在于,所述支撑板(2)之间插接有导向杆(13),横移滑块(12)与导向杆(13)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于插片机的硅片篮输送装置,其特征在于,所述底板(1)的底部固定连接有两个防滑座(14)。

5.根据权利要求4所述的一种用于插片机的硅片篮输送装置,其特征在于,所述底板(1)的底部固定连接有配重块(15),配重块(15)位于两个防滑座(14)之间。

6.根据权利要求1所述的一种用于插片机的硅片篮输送装置,其特征在于,所述纵向杆(9)的底部分别固定连接有滑动杆(16)。

7.根据权利要求6所述的一种用于插片机的硅片篮输送装置,其特征在于,所述安装板(5)的底部固定连接有多个直线轴承套(17),滑动杆(16)穿过直线轴承套(17)。

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