[实用新型]一种用于插片机的硅片篮输送装置有效
申请号: | 202221823686.0 | 申请日: | 2022-07-14 |
公开(公告)号: | CN217768328U | 公开(公告)日: | 2022-11-08 |
发明(设计)人: | 章祥静;周裕吉 | 申请(专利权)人: | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人: | 袁诚 |
地址: | 214183 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 插片机 硅片 输送 装置 | ||
本实用新型公开了一种用于插片机的硅片篮输送装置,包括底板,所述底板的上表面固定连接有多个支撑板,每两个支撑板之间设置有传送带,传送带的外表面设置有皮带固定夹块,皮带固定夹块之间固定连接有安装板,安装板的底部固定连接有顶升气缸,顶升气缸的输出端固定连接有安装座,安装座的两侧固定连接有中心杆,中心杆的两端分别固定连接有同一个纵向杆,纵向杆的两端分别固定连接有同一个横向杆,横向杆的上表面固定连接有多个支撑座。本实用新型能够在对硅片篮进行输送时,以便于对硅片篮作输送使用,以防硅片篮存在掉篮隐患,以此保障硅片篮在输送过程中的稳定性,提升了插片机的硅片篮输送使用效果。
技术领域
本实用新型涉及插片机技术领域,尤其涉及一种用于插片机的硅片篮输送装置。
背景技术
随着经济的不断发展,现代化建设对能源需求不断增长,光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源之一,单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料,有着广泛的市场需求,而单晶硅片切割后,需要放进硅片篮中进行清洗,其中,硅片清洗工序完成后会利用输送装置将硅片篮传输至分选工段用以后期加工。
目前,现有的硅片篮输送装置,大多存在以下的不足:在对硅片篮进行输送时,多使用机械手对硅片篮作勾篮输送使用,由于机械手上的硅片篮存在掉篮隐患,导致硅片篮在输送过程中不稳定,影响插片机的硅片篮输送使用。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种用于插片机的硅片篮输送装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种用于插片机的硅片篮输送装置,包括底板,所述底板的上表面固定连接有多个支撑板,每两个支撑板之间设置有传送带,传送带的外表面设置有皮带固定夹块,皮带固定夹块之间固定连接有安装板,安装板的底部固定连接有顶升气缸,顶升气缸的输出端固定连接有安装座,安装座的两侧固定连接有中心杆,中心杆的两端分别固定连接有同一个纵向杆,纵向杆的两端分别固定连接有同一个横向杆,横向杆的上表面固定连接有多个支撑座,支撑座、横向杆和纵向杆之间形成U型槽。
进一步的,所述安装板的底部固定连接有多个横移滑块。
进一步的,所述支撑板之间插接有导向杆,横移滑块与导向杆滑动连接。
进一步的,所述底板的底部固定连接有两个防滑座。
进一步的,所述底板的底部固定连接有配重块,配重块位于两个防滑座之间。
进一步的,所述纵向杆的底部分别固定连接有滑动杆。
进一步的,所述安装板的底部固定连接有多个直线轴承套,滑动杆穿过直线轴承套。
本实用新型的有益效果为:
1.本实用新型,通过纵向杆、横向杆和支撑座形成U型槽的设置,能够在对硅片篮进行输送时,以便于对硅片篮作输送使用,以防硅片篮存在掉篮隐患,以此保障硅片篮在输送过程中的稳定性,提升了插片机的硅片篮输送使用效果。
2.本实用新型,通过导向杆和横移滑块滑动连接的设置,能够在皮带固定夹块带动安装板移动时,起到导向的作用,以保障安装板带动U形槽移动时的平稳性。
3.本实用新型,通过防滑座和配重块的设置,可以保障底板放置的平稳性,以保障该装置运行时的平稳性。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种用于插片机的硅片篮输送装置的立体结构示意图;
图2为本实用新型提出的一种用于插片机的硅片篮输送装置的部分左侧立体结构示意图;
图3为本实用新型提出的一种用于插片机的硅片篮输送装置的局部立体结构示意图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造